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機(jī)械接觸式 數(shù)字式 數(shù)顯硅片薄膜厚度儀

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號 CHY-C2
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 濟(jì)南市

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更新時(shí)間:2024-02-22 13:57:10瀏覽次數(shù):178

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產(chǎn)品簡介

CHY-C2機(jī)械接觸式 數(shù)字式 數(shù)顯硅片薄膜厚度儀采用機(jī)械接觸式測量方式,嚴(yán)格按照GB/T 6618標(biāo)準(zhǔn)要求設(shè)計(jì),有效保證了測試的規(guī)范性和準(zhǔn)確性。專業(yè)適用于8英寸/12英寸晶圓板、硅片厚度精確測量,同時(shí)也滿足塑料薄膜、無紡布、銅箔、金屬鍍層、薄片、隔膜、紙張、箔片等材料的厚度測量。

詳細(xì)介紹

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CHY-C2機(jī)械接觸式 數(shù)字式 數(shù)顯硅片薄膜厚度儀采用機(jī)械接觸式測量方式,嚴(yán)格按照GB/T 6618標(biāo)準(zhǔn)要求設(shè)計(jì),有效保證了測試的規(guī)范性和準(zhǔn)確性。專業(yè)適用于8英寸/12英寸晶圓板、硅片厚度精確測量,同時(shí)也滿足塑料薄膜、無紡布、銅箔、金屬鍍層、薄片、隔膜、紙張、箔片等材料的厚度測量。


機(jī)械接觸式 數(shù)字式 數(shù)顯硅片薄膜厚度儀 技術(shù)特征

l 搭載7寸IPS觸控屏,采用進(jìn)口MEAS差動(dòng)電感式位移傳感器分辨率0.1um.

l 測試過程按用戶設(shè)定程序,測量頭自動(dòng)升降測量,測量數(shù)據(jù)自動(dòng)打印

l 支持同組數(shù)據(jù)100個(gè)測量點(diǎn)數(shù)據(jù)采集,支持500組數(shù)據(jù)存儲/查詢

l 支持多級用戶權(quán)限管理,測試數(shù)據(jù)歷史記錄可查詢,可審計(jì)追蹤。

l 實(shí)時(shí)顯示測量結(jié)果的zuida值、最小值、平均值以及標(biāo)準(zhǔn)偏差等分析數(shù)據(jù),方便用戶進(jìn)行判斷

l 配置標(biāo)準(zhǔn)量塊用于系統(tǒng)標(biāo)定,保證測試的精度和數(shù)據(jù)一致性

l 可選配自動(dòng)進(jìn)樣裝置,實(shí)現(xiàn)無人工操作,系統(tǒng)全自動(dòng)測量

l 配備USB接口,專業(yè)測控軟件、可通過軟件操控儀器完成各項(xiàng)測量


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測試標(biāo)準(zhǔn) 該設(shè)備滿足多項(xiàng)國家和國際標(biāo)準(zhǔn):GB/T 6618-2009、ISO 4593、ISO 534、ISO 3034、GB/T 6672、GB/T 451.3、 GB/T 6547、ASTM D374、ASTM D1777、TAPPI T411、JIS K6250、JIS K6783、JIS Z1702、 BS 3983、BS 4817、GB/T 24218.2


技術(shù)指標(biāo)

測試范圍 0~2 mm(常規(guī)) 0~6 mm(可選)

分辨率 0.1 μm

臺面有效尺寸:340mm*480mm

接觸面積 1.77 mm2標(biāo)配

測量頭直徑:1.5mm(標(biāo)配)注:非標(biāo)可定制

電源 AC 220V 50Hz

外形尺寸 630 mm(L)× 340 mm(W)×350 mm(H)

凈重 35 kg


產(chǎn)品配置:主機(jī)、標(biāo)準(zhǔn)量塊一件、專業(yè)軟件、通信電纜、測量頭




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