PI P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器

PI P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器

具有孔徑的高精度XY掃描儀

PI公司介紹：

PI位于德國，是一家典型的高科技中型企業(yè)。公司的規(guī)模使其能迅速靈活地響應(yīng)客戶的要求，同時還可滿足已建立并經(jīng)測試的流程的可靠性和安全性要求。PI因其產(chǎn)品的高質(zhì)量和客戶關(guān)系的整體可靠性而聞名。

產(chǎn)品描述

X和Y向上的行程達(dá)100微米×100微米      電容式傳感器使分辨率達(dá)0.1納米 

帶直接驅(qū)動器的高速版本      可提供真空兼容和非磁性版本      并聯(lián)運動實現(xiàn)更高精度和動態(tài)

導(dǎo)向誤差主動補償?shù)牟⑿杏嬃?     零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)      50毫米×50毫米的通光孔徑用于透射光應(yīng)用

應(yīng)用領(lǐng)域

• 掃描顯微鏡
• 共聚焦顯微鏡
• 掩模/晶圓定位
• 表面測量技術(shù)
• 納米壓印
• 顯微操縱
• 圖像處理/穩(wěn)定
• 高運動平面度和直線度的納米定位

帶電容式傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、*穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動配置和快速部件更換

機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動時，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能就會使用這些數(shù)據(jù)。

并聯(lián)運動實現(xiàn)高動態(tài)多軸操作

在并聯(lián)多軸系統(tǒng)中，所有促動器作用于同一個運動平臺。所有軸具有小的質(zhì)量慣性和相同的設(shè)計，可實現(xiàn)快速、動態(tài)和精密的運動。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實現(xiàn)*運行1000億個循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對所受到的沖擊和振動不敏感。它們*真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

直接位置測量帶來大精度

運動直接在運動平臺上測量，*不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實現(xiàn)的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的排氣率。

規(guī)格

* 帶數(shù)字式控制器。 使用模擬控制器測量的直接驅(qū)動平臺的非線性度高達(dá)0.1%的典型值。

因為PI壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。

所有規(guī)格參數(shù)基于室溫（22°C±3°C）。

訂購信息

帶直接驅(qū)動器

P-733.2DD

高動態(tài)精密XY向納米定位系統(tǒng)，30 微米 × 30 微米，直接驅(qū)動，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

帶Sub-D連接器（公頭）的版本

P-733.2CD

精密XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

帶LEMO連接器的版本

P-733.2CL

精密XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器

配件

P-733.AP1

接裝板用于將P-733 壓電工作臺安裝在M-545 XY位移平臺上

線性定位器，真空兼容達(dá)10-9百帕

P-733.2VL 精密XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器，真空兼容至10-6百帕

P-733.2VD 精密XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器，真空兼容至10-6百帕

P-733.2UD 精密XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

北京漢達(dá)森公司簡介

北京漢達(dá)森機(jī)械技術(shù)有限公司是一家專業(yè)從事歐洲工業(yè)產(chǎn)品進(jìn)口貿(mào)易的公司。主要產(chǎn)品有工業(yè)自動化設(shè)備、機(jī)電設(shè)備、液壓設(shè)備、電氣設(shè)備和零部件等產(chǎn)品。公司總部于2007年在德國成立。公司自成立以來，一直以德國公司的身份為國內(nèi)一些貿(mào)易商，設(shè)備商及終端客戶提供產(chǎn)品代購服務(wù)。

 公司代理

NILOS軸承
NILOS密封件
NILOS軸承蓋

NILOS-RING 16036 180 280 31
NILOS-RING 16036 AV 267 220 180 5 0,5
NILOS-RING 16036 JV 200 230 280 5 0,5
NILOS-RING 16038 190 290 31
NILOS-RING 16038 AV 275 220 190 5 0,5
NILOS-RING 16038 JV 203 243 290 5 0,5
NILOS-RING 16040 200 310 34
NILOS-RING 16040 AV 286 235 200 5 0,5
NILOS-RING 16040 JV 220 255 310 5 0,5
NILOS-RING 16044 220 340 37
NILOS-RING 16044 AV 314 260 220 5 0,5
NILOS-RING 16044 JV 250 285 340 5,3 0,5
NILOS-RING 16048 240 360 37
NILOS-RING 16048 AV 335 280 240 5 0,5
NILOS-RING 16048 JV 260 315 360 5,8 0,5
NILOS-RING 16052 260 400 44
NILOS-RING 16052 AV 369 285 260 5,8 0,7
NILOS-RING 16052 JV 290 342 400 6,2 0,7
NILOS-RING 16056 280 420 44
NILOS-RING 16056 AV 390 345 280 5,3 0,7
NILOS-RING 16056 JV 310 360 420 7,7 0,7
NILOS-RING 16060 300 460 50
NILOS-RING 16060 AV 440 388 300 8 0,7

PI P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器

趙曉東
北京漢達(dá)森機(jī)械技術(shù)有限公司  北京市順義區(qū)南法信鎮(zhèn)金關(guān)北二街3號院4號樓2層207室  
銷售部 趙曉東