制藥網(wǎng)
詳細介紹
詳情介紹：
產(chǎn)品特點
1：此款鍍膜儀配置有兩個靶槍：一個靶槍配套的是射頻電源，用于非導電靶材的濺射鍍膜；一個靶槍配套的是直流電源，用于導電材料的濺射鍍膜
2：該鍍膜儀可以制備多種不同材料的薄膜，應(yīng)用非常廣泛。
3：該鍍膜儀體積較小，且配備有觸摸屏控制面板，操作方便。
產(chǎn)品參數(shù)
電源 | 220V 50Hz |
功率 | 2000W(含真空泵） |
極限真空度 | 10-6torr |
工作溫度 | 室溫~500℃ |
靶槍數(shù)量 | 2個（可選配其他數(shù)量） |
靶槍冷卻方式 | 水冷 |
靶材尺寸 | Φ50mm，厚度0.1~5mm |
直流濺射功率 | 500W |
射頻濺射功率 | 300W/500W |
樣品臺尺寸 | 140mm |
樣品臺轉(zhuǎn)速 | 1~20rpm可調(diào) |
保護氣體 | Ar、N2等惰性氣體 |
進氣氣路 | 2路氣路，質(zhì)子流量計控制，每個流量為100sccm |
爐體尺寸 | 500×560×660mm |
整機尺寸 | 1300×660×1200mm |
重量 | 160kg |
可選配件 | Au、In、Ag、Pt等 |
配件 | 直流電源控制系統(tǒng)1件；射頻電源控制系統(tǒng)1件； 膜厚儀1套；分子泵1臺；冷水機1臺；冷卻水管（φ6mm） 靶材（不銹鋼靶、陶瓷靶） |
包裝 | 三合板木質(zhì)包裝 |
制藥網(wǎng)