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1500℃單溫區(qū)3路浮子供氣高...

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  • 型號 CY-T1500-60IT-3F-HV
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更新時間:2020-12-31 16:15:22瀏覽次數(shù):411

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產品簡介

簡單介紹: 1500℃單溫區(qū)3路浮子供氣高真空CVD系統(tǒng)由1500℃單溫區(qū)管式爐、三路浮子流量計和高真空分子泵組組成。管式爐由精密控溫儀表進行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。1500℃單溫區(qū)3路浮子供氣高真空CVD系統(tǒng)爐管兩側法蘭配有數(shù)字式真空計和機械式壓力表,可以用來控制爐管內的氣氛環(huán)境。

詳細介紹

詳情介紹:

1500℃單溫區(qū)3路浮子供氣高真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業(yè)人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠的提高您的實驗效率。爐管采用高純氧化鋁制成,爐體采用一體式設計,*的設計能夠保證系統(tǒng)在1500℃運行穩(wěn)定安全,加熱元件采用高品質硅碳棒,能夠達到1500℃高溫,若客戶有需求可以定制硅鉬棒加熱元件以達到更高的1700℃高溫。

系統(tǒng)所配有的三路浮子流量計,可以混合1~3路氣體,較為準確的配制出實驗所需的混合氣體;另有一壓力表安裝在浮子流量計正面,可以監(jiān)測氣體壓力及混合槽壓力。本系統(tǒng)還配有精密分子泵組,可以達到1.0E-3pa級別的真空度,較普通機械泵可以為用戶提供更純凈嚴苛的實驗環(huán)境。

適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實驗。

技術參數(shù):

產品型號

CY-T1500-60IT

爐管材質

高純氧化鋁

爐管直徑

60mm(可選配50mm80mm、100mm

爐管長度

1000mm

爐膛長度

400mm

加熱區(qū)長

300mm

恒溫區(qū)長

150mm

工作溫度

1450

控溫精度

±1

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

LCD

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭

可抽真空

4.4E-3Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

統(tǒng)

產品型號

CY-3F

氣體通道

3通道

測量部件

氣體浮子流量計

測量量程

A通道:0100ml/min    H2

備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明??筛鶕?jù)客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。

B通道:16160ml/min    N2

C通道:25250ml/min    Ar

測量精度

±2.0%

管道耐壓

3MPa

工作壓差

50300KPa

連接管道

304不銹鋼

控制閥門

304不銹鋼針閥

接口規(guī)格

進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

統(tǒng)

產品型號

CY-GZK103-A

分子泵

CY-600

前極泵

旋片泵

抽氣速率

分子泵:600L/S

綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達:1.0E-3Pa

旋片泵:1.1L/S

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

真空測量

復合真空計:電阻規(guī)+電離規(guī)

極限真空

1.0E-5Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz


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