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詳細(xì)介紹
詳情介紹：
項(xiàng)目 | 明細(xì) | |
供電電壓 | AC220V，50Hz | |
整機(jī)功率 | 3KW | |
極限真空度 | 10-6torr | |
載樣臺(tái)參數(shù) | 尺寸 | φ140mm |
加熱溫度 | *高500℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
轉(zhuǎn)速 | 1-20rpm可調(diào) | |
磁控濺射頭參數(shù) | 數(shù)量 | 2個(gè)2"磁控濺射頭 |
冷卻方式 | 水冷，所需流速10L/min | |
水冷機(jī)規(guī)格 | 10L/min流速的循環(huán)水冷機(jī) | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | φ300mm X 300mm H |
腔體材料 | 不銹鋼 | |
觀察窗口 | φ100mm | |
開啟方式 | 上頂開式，便于更換靶材 | |
氣體流量控制器 | 2路分別通Ar，N2； 量程均為0-100sccm | |
真空泵 | 配有一套分子泵系統(tǒng)，抽速600L/S | |
膜厚儀 | 石英振動(dòng)薄膜測(cè)厚儀一臺(tái)，分辨率0.10 ? | |
濺射電源 | 直流電源一臺(tái)，1000W，適用于制備金屬膜 射頻電源一臺(tái)，500W，適用于非金屬鍍膜 | |
操作方式 | 面板按鈕操作 | |
整機(jī)尺寸 | 1400mm X 750mm X 1300mm | |
整機(jī)重量 | 300kg | |
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