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詳細(xì)介紹
詳情介紹：
等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀適用范圍：
掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作，以及非導(dǎo)體材料試驗(yàn)電極的制作等。
等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：
供電電壓 AC220V，60Hz *大功率 1200W 樣品臺 直徑φ65mm； 與蒸發(fā)源間距可調(diào)，調(diào)節(jié)范圍60mm-100mm 真空腔體 材質(zhì)：304不銹鋼 O.Dφ168mm x I.Dφ160mm x 210mm *高溫度 1700℃ 熱電偶 B型熱電偶 真空計(jì) 電子式真空計(jì) 真空系統(tǒng) 前級泵：浦發(fā)MVP030 無油泵 抽速30L/min 次級泵：萊寶TURBOVAC 90iX 抽速90L/s 真空接口 KF40 進(jìn)氣接口 1/4卡套接頭 整機(jī)尺寸 500x350x400mm
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