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詳情介紹：
迷你石墨烯CVD設(shè)備
本套CVD系統(tǒng)專為石墨烯生產(chǎn)設(shè)計(jì)，采用1200℃迷你管式爐，配有高精度質(zhì)量流量計(jì)以及薄膜真空規(guī)。相比于常規(guī)的皮拉尼電阻規(guī)，薄膜規(guī)的讀數(shù)**，不受氣體種類影響，十分適合真空鍍膜工藝。同時(shí)設(shè)備配有可燃?xì)怏w檢測(cè)裝置，聯(lián)動(dòng)出氣口電磁閥，一旦出現(xiàn)泄漏電磁閥即可自行關(guān)閉保證安全。
該套設(shè)備功能**占地面積較小，十分適合實(shí)驗(yàn)室規(guī)模的CVD制備。
特點(diǎn)
1.高精度質(zhì)量流量計(jì)以及薄膜真空規(guī)。
2.可燃?xì)怏w檢測(cè)裝置，聯(lián)動(dòng)出氣口電磁閥。
3.體積小巧
4.專為石墨烯生產(chǎn)設(shè)計(jì)
技術(shù)參數(shù)
| 1200℃迷你管式爐 | 供電電壓 | AC220V,50Hz |
| 功率 | 2KW max | |
| 加熱溫區(qū) | 單溫區(qū)200mm | |
| 恒溫區(qū)長 | 100mm | |
| 加熱元件 | 耐熱合金絲 | |
| 熱電偶 | K型 | |
| 工作溫度 | ≤1150℃ | |
| 升溫速率 | 建議≤10℃/min | |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 控溫方式 | AI-PID 30段工藝曲線，帶有過熱和斷偶保護(hù) | |
| 爐管材質(zhì) | 高純石英 | |
| 爐管尺寸 | φ50mm O.D x 450mm L | |
| 真空泵 | 機(jī)械泵 抽速1.1L/s | |
| 極限真空 | 5Pa |
| 三路浮子流量計(jì) | 閥門類型 | 不銹鋼針閥 |
| 氣路數(shù)量 | 三路 | |
| 承壓范圍 | 0.05~0.3MPa | |
| 量程 | Ar 0~500sccm H2 0~200sccm CH4 0~10sccm | |
| 流量控制范圍 | ±1.5% | |
| 混氣罐容積 | 750mL | |
| 氣路材料 | 304不銹鋼 | |
| 管道接口 | 6.35mm卡套接頭 | |
| 供電電源 | AC220V 50Hz |
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