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泰州新飛光電有限公司


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高速3D激光共聚焦顯微鏡 立體、體式顯微鏡

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產(chǎn)品型號(hào)NS3800

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地國外

聯(lián)系方式:顧經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2024-03-02 09:13:21瀏覽次數(shù):875次

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經(jīng)營模式:代理商

商鋪產(chǎn)品:15條

所在地區(qū):江蘇泰州市

聯(lián)系人:顧經(jīng)理 (技術(shù)工程師)

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 進(jìn)口 產(chǎn)品新舊 全新
配備圖像分析系統(tǒng) 物鏡 10X,20X,50X,100X
激光 405nm    

NS3800高速3D激光共聚焦顯微鏡是韓國Nanoscope Systems 公司專門為低維材料研究所研發(fā)的一款高速3D顯微鏡。與傳統(tǒng)的3D探針輪廓儀相比較,NS3800使用405nm的激光作為光源,進(jìn)行無損傷檢測,不與樣品的表面直接接觸,因此不會(huì)損傷樣品的表面,測量精度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于探針輪廓儀。

詳細(xì)介紹

NS3800三維激光共聚焦顯微鏡

NS-3800是一種可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結(jié)構(gòu),可以為半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等提供各種解決方案。

Features & Benefits(性能及優(yōu)勢(shì)):

  • 高分辨無損傷光學(xué)3D測量                               自動(dòng)傾斜補(bǔ)償

  • 實(shí)時(shí)共焦成像                                                 簡單的數(shù)據(jù)分析模式

  • 多種光學(xué)變焦                                                 雙Z掃描

    大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

  • 實(shí)時(shí)CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準(zhǔn)備

  • 自動(dòng)聚焦

Application field(應(yīng)用領(lǐng)域):

NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

可測量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度,寬度,角度,面積和體積,例如

-半導(dǎo)體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測,CMP工藝

- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測,ITO圖案,LCD柱間距高度

- MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

-玻璃表面:薄膜太陽能電池,太陽能電池紋理,激光圖案

-材料研究:模具表面檢測,粗糙度,裂紋分析


Dimension(尺寸):

Specification (規(guī)格):

Model

Microscope  NS-3800

備注

物鏡倍率

10x

20x

50x

100x


觀察/  測量范圍  

水平 (H): μm

1400

700

280

140


垂直 (V): μm

1050

525

210

105


工作范圍: mm

16.5

3.1

0.54

0.3


數(shù)值孔徑(N.A.)

0.30

0.46

0.80

0.95


光學(xué)變焦

x1 to x6


總放大倍率

178x to 26700x


觀察/測量光學(xué)系統(tǒng)  

針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng)


高度測量

測量掃描范圍

Fine scan : 100 μm (and/or) Long scan : 7 mm [NS-3800L]

注 1

Fine scan : 400 μm (and/or) Long scan : 10 mm [NS-3800D]

Fine scan : 200 μm (and/or) Long scan : 10 mm [NS-3800T]

顯示分辨率

0.001 μm


重復(fù)率 σ

0.010 μm

注 2

寬度測量

顯示分辨率

0.001 μm


重復(fù)率 3σ

0.02 μm

注 3

幀記憶

像素

1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96


單色圖像

12 bit


彩色圖像

8-bit for RGB each


高度測量

16 bit


幀速率

表面掃描

20 Hz to 160 Hz


線掃描

~8 kHz


自動(dòng)功能

自動(dòng)增益


激光共焦測量光源

波長

405nm


輸出

~2mW


激光等級(jí)

Class 3b


激光接收元件

PMT (光電倍增管)


光學(xué)觀察光源

10W LED


光學(xué)觀察照相機(jī)

成像元件

1/2" 彩色圖像 CCD 傳感器


記錄分辨率

640x480


自動(dòng)調(diào)整

增益, 快門速度, White balance


數(shù)據(jù)處理單元

PC


電源

電壓

100 to 240 VAC, 50/60 Hz


電流

500 VA max.


重量

顯微鏡

Approx. ~50 kg

(Measuring head unit : ~12 kg)


控制器

~8 kg


隔振系統(tǒng)

氣浮隔振系統(tǒng)

Option

               

注1:精細(xì)掃描由壓電執(zhí)行器(PZT)執(zhí)行。

注2 :以100×/ 0.95物鏡對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品(步長1μm)進(jìn)行100次測量。      

注 3 :以100×/ 0.95物鏡對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品(5μm間距)進(jìn)行100次測量



關(guān)鍵詞:顯微鏡 傳感器 控制器

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