奧林巴斯半導(dǎo)體與平板顯示器檢測(cè)顯微鏡MX63/MX63L

讓您的大尺寸樣品檢測(cè)流程更加順暢

MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)特別適合尺寸300毫米的晶圓、平板顯示器、電路板、以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測(cè)。其采用的模塊化設(shè)計(jì)可讓您根據(jù)需要選擇組件，獲得根據(jù)應(yīng)用定制的系統(tǒng)。

這兩款符合人體工學(xué)設(shè)計(jì)且人性化的顯微鏡有助于在提高工作效率的同時(shí)保持檢測(cè)者的工作舒適性。在與奧林巴斯Stream圖像分析軟件結(jié)合使用情況下，可以簡(jiǎn)化從觀察到報(bào)告生成的整體工作流。

多功能

設(shè)計(jì)滿足電子行業(yè)的人體工學(xué)和安全性要求，并以更多功能提高分析能力。

人性化

簡(jiǎn)潔的顯微鏡設(shè)置讓用戶調(diào)整和重復(fù)系統(tǒng)配置更加輕松。

成像技術(shù)

我們成熟可靠的光學(xué)器件和優(yōu)良的成像技術(shù)可獲得清晰圖像，并完成可靠檢測(cè)。

模塊化

用戶可利用適合其應(yīng)用的組件進(jìn)行系統(tǒng)定制。

應(yīng)用圖片庫

我們的圖像管理功能可為您呈現(xiàn)您真正想要觀察的內(nèi)容。

分析工具

MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M(jìn)行可靠的缺陷檢測(cè)。全新照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項(xiàng)為用戶評(píng)估樣品和存檔檢測(cè)結(jié)果提供更多選擇。

從不可見到可見：MIX觀察與圖像采集

通過將暗場(chǎng)與諸如明場(chǎng)、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用，MIX觀察技術(shù)能夠獲得的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。暗場(chǎng)觀察所用的環(huán)形LED照明器具有在時(shí)間僅使用四分之一象限的定向暗場(chǎng)功能。該功能可減少樣品光暈，對(duì)于樣品表面紋理的可視化非常有用。

半導(dǎo)體晶圓上的結(jié)構(gòu)

集成電路圖形不夠清晰。		晶圓顏色不可見。		晶圓顏色和集成電路圖形均清晰可辨。

半導(dǎo)體晶圓上的光刻膠殘留物

樣品本身不可見。		殘留物不清晰。		集成電路圖形和殘留物均清晰可辨。

聚光鏡

表面受到反射。		來自不同角度定向暗場(chǎng)的多幅圖像。		將沒有光暈的清晰圖像拼接在一起，創(chuàng)建樣品的單幅清晰圖像。

輕松生成全景圖像: 即時(shí)圖像拼接

利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶移動(dòng)手動(dòng)載物臺(tái)上的XY旋鈕即可輕松快速完成圖像拼接—電動(dòng)載物臺(tái)無需進(jìn)行該操作。奧林巴斯Stream軟件利用模式識(shí)別生成全景圖像，讓用戶獲得更寬的視場(chǎng)。

硬幣的即時(shí)MIA圖像

生成全聚焦圖像: EFI

奧林巴斯Stream軟件的景深擴(kuò)展成像(EFI)功能可采集高度超出物鏡焦點(diǎn)深度的樣品圖像，并可將其合成一幅全聚焦圖像。EFI配合手動(dòng)或電動(dòng)Z軸調(diào)焦使用，可輕松實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)可視化的高度圖像。其也可在Stream桌面版（Desktop）離線情況下生成EFI圖像。

集成電路芯片上的凸塊

利用HDR同時(shí)捕捉明亮區(qū)域和暗光區(qū)域

采用圖像處理技術(shù)的高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異，從而減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺品質(zhì)，從而有助于生成具有專業(yè)級(jí)外觀的報(bào)告。

從基本測(cè)量到高級(jí)分析

測(cè)量對(duì)于品質(zhì)、工藝控制和檢測(cè)非常重要?；谶@一想法，即便是入門級(jí)奧林巴斯Stream軟件包也融入了交互測(cè)量功能的全部菜單，并且所有測(cè)量結(jié)果與圖像文件一起保存以便存檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供面向工作流的直觀界面。點(diǎn)擊按鈕一下，圖像分析任務(wù)即可快速精準(zhǔn)完成。在大幅度縮減重復(fù)性任務(wù)的處理時(shí)間情況下，操作人員可以將精力集中在手邊的檢測(cè)工作上。

基本測(cè)量（印刷電路板上的圖形）分散能力解決方案（PCB通孔的橫截面）自動(dòng)測(cè)量解決方案（晶圓結(jié)構(gòu)）

高效的報(bào)告創(chuàng)建

創(chuàng)建報(bào)告所用的時(shí)間常常比采集圖像和測(cè)量還長。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀的報(bào)告創(chuàng)建功能，能夠根據(jù)預(yù)先設(shè)定的模板多次創(chuàng)建專業(yè)復(fù)雜的報(bào)告。編輯非常簡(jiǎn)單，報(bào)告可導(dǎo)出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奧林巴斯Stream報(bào)告功能能夠?qū)Σ杉膱D像進(jìn)行數(shù)字變焦和倍率放大。報(bào)告文件大小適中，通過電子郵件進(jìn)行數(shù)據(jù)傳遞更加方便。

獨(dú)立相機(jī)選項(xiàng)

利用DP22或DP27顯微鏡相機(jī)，MX63系列即可成為獨(dú)立系統(tǒng)。該相機(jī)采用幾乎不占空間的緊湊型控制盒進(jìn)行控制，在采集清晰圖像以及進(jìn)行基本測(cè)量工作的同時(shí)讓實(shí)驗(yàn)室空間得到充分利用。

相機(jī)控制盒

支持潔凈室合規(guī)性的設(shè)計(jì)

MX63系列專為潔凈室工作而設(shè)計(jì)，并具有幫助大限度減小樣品污染或受損風(fēng)險(xiǎn)的功能。該系統(tǒng)采用人體工學(xué)設(shè)計(jì)，可幫助用戶在長時(shí)間使用中保持舒適。MX63系列符合包括SEMI S2/S8、CE和UL規(guī)范及標(biāo)準(zhǔn)要求。

選配晶圓搬送機(jī) — AL120系統(tǒng)* 

選配的晶圓搬送機(jī)可安裝在MX63系列上，實(shí)現(xiàn)無需使用鑷子或工具即可安全地將硅片及化合物半導(dǎo)體晶圓從片盒轉(zhuǎn)移到顯微鏡載物臺(tái)上。的性能和可靠性可實(shí)現(xiàn)安全高效的前后宏觀檢測(cè)，同時(shí)搬送機(jī)還可幫助提高實(shí)驗(yàn)室工作效率。

MX63系統(tǒng)與AL120晶圓搬送機(jī)結(jié)合使用(200毫米型號(hào))

* AL120 未在歐洲、中東、非洲地區(qū)（EMEA）銷售。

快速、清潔的檢測(cè)

MX63系列可實(shí)現(xiàn)無污染的晶圓檢測(cè)。所有電動(dòng)組件均安裝在防護(hù)結(jié)構(gòu)殼內(nèi)，顯微鏡鏡架、鏡筒、呼吸防護(hù)罩、及其他部件均采用防靜電處理。電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的轉(zhuǎn)速比手動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器更快更安全，縮短檢測(cè)間隔時(shí)間的同時(shí)，讓操作人員的手始終保持在晶圓下方，避免了潛在的污染。

防靜電呼吸防護(hù)罩            電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器

系統(tǒng)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)高效觀察

利用內(nèi)置離合和XY旋鈕，XY載物臺(tái)能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)載物臺(tái)移動(dòng)的粗調(diào)和微調(diào)。即便針對(duì)諸如300毫米晶圓這樣的大尺寸樣品，載物臺(tái)也可幫助實(shí)現(xiàn)高效的觀察
 可調(diào)傾角觀察鏡筒的調(diào)節(jié)范圍可讓操作人員以舒適的姿態(tài)坐在顯微鏡前工作。

帶有內(nèi)置離合的載物臺(tái)手柄      可調(diào)傾角觀察鏡筒可確保舒適的工作姿態(tài)

接受所有晶圓尺寸

該系統(tǒng)可配合各類150–200毫米和200– 300毫米晶圓支架和玻璃板使用。如果生產(chǎn)線上的晶圓尺寸發(fā)生變化，以很少的成本即可更改顯微鏡鏡架。有了MX63系列，各種載物臺(tái)均可用于檢測(cè)75毫米、100毫米、125 毫米和150毫米晶圓。

直觀的顯微鏡控制：舒適且使用方便

顯微鏡設(shè)置操作簡(jiǎn)單，讓用戶調(diào)整和恢復(fù)系統(tǒng)配置更加輕松。 

快速尋找焦點(diǎn)：聚焦輔助器

在光程內(nèi)插入聚焦輔助器可以輕松準(zhǔn)確地實(shí)現(xiàn)諸如裸晶圓之類低對(duì)比度樣品的對(duì)焦。

左圖：網(wǎng)格顯示圖像失焦。/ 中圖: 網(wǎng)格輔助對(duì)焦。/ 右圖: 輕松獲得焦點(diǎn)圖像。

輕松恢復(fù)顯微鏡設(shè)置：編碼硬件

編碼功能將MX63系列的硬件設(shè)置與奧林巴斯Stream圖像分析軟件整合在一起。觀察方法、照明強(qiáng)度和放大倍率可由軟件自動(dòng)記錄并與相關(guān)圖像一起存儲(chǔ)。由于設(shè)置可輕松復(fù)制，任何操作員經(jīng)過基本培訓(xùn)即可完成相同質(zhì)量的檢測(cè)工作。

不同的操作者使用不同的設(shè)置		利用奧林巴斯Stream軟件獲得設(shè)備設(shè)置參數(shù)。		所有操作者均可使用同一設(shè)置。

實(shí)現(xiàn)更快、更舒適操作的符合人體工學(xué)控制

更換物鏡以及調(diào)整孔徑光闌的控制位于顯微鏡前面較低的位置，因此使用者在使用過程中無須松開對(duì)焦旋鈕或?qū)㈩^從目鏡上移開。

集中布置的顯微鏡操作按鈕	手動(dòng)開關(guān)	快照按鈕

利用光強(qiáng)度管理器和自動(dòng)孔徑光闌控制實(shí)現(xiàn)更快的觀察

對(duì)于常規(guī)顯微鏡，使用者每次觀察都需要調(diào)整光強(qiáng)度和孔徑光闌。MX63系列讓使用者能夠針對(duì)不同的倍率和觀察方法設(shè)定光強(qiáng)度和孔徑光闌大小。這些能夠輕松調(diào)用的設(shè)置即可幫助使用者節(jié)省時(shí)間又可始終獲得高清圖像質(zhì)量。

光強(qiáng)度管理器

傳統(tǒng)光強(qiáng)	當(dāng)改變倍率或觀察方法時(shí)，圖像變得過亮或過暗。
光強(qiáng)度管理器	為了在更改倍率或觀察方法時(shí)獲得高清圖像，光強(qiáng)度可自動(dòng)進(jìn)行調(diào)節(jié)。

 自動(dòng)孔徑光闌控制

孔徑光闌: 更高的分辨           最小孔徑光闌：更高對(duì)比度和更大的景深

為質(zhì)量檢驗(yàn)提供精細(xì)的光學(xué)和數(shù)碼成像

奧林巴斯研發(fā)高質(zhì)量光學(xué)器件和數(shù)碼成像技術(shù)的悠久歷史成就了具有測(cè)量精度的一系列可靠光學(xué)器件和顯微鏡。

的光學(xué)性能：波陣面像差控制

物鏡物鏡的光學(xué)性能對(duì)于觀察圖像質(zhì)量和分析結(jié)果有著直接的影響。奧林巴斯UIS2高倍率物鏡可限度減小波陣面像差，從而獲得可靠的光學(xué)性能。

差的波陣面                     好的波陣面(UIS2物鏡)

始終一致的色溫：高強(qiáng)度白光LED照明

MX63系列采用高強(qiáng)度白光LED光源進(jìn)行反射和透射照明。無論光強(qiáng)度如何，LED光源均可保持始終如一的色溫，從而實(shí)現(xiàn)可靠的圖像質(zhì)量和色彩再現(xiàn)。LED系統(tǒng)可提供非常適合材料科學(xué)應(yīng)用的高效率、長壽命照明。

色彩隨光強(qiáng)變化而變化。

色彩始終與光強(qiáng)保持一致，并且比鹵素?zé)舾逦?br> * 所有圖像均采用自動(dòng)曝光采集

精確測(cè)量：自動(dòng)校準(zhǔn)

與數(shù)碼顯微鏡類似，當(dāng)使用奧林巴斯Stream軟件時(shí)可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)校準(zhǔn)。自動(dòng)校準(zhǔn)有助于消除校準(zhǔn)過程中的人為偏差，保證了更可靠的測(cè)量。自動(dòng)校準(zhǔn)采用的算法可根據(jù)多個(gè)測(cè)量點(diǎn)均值自動(dòng)計(jì)算正確的校準(zhǔn)值。由此限度減小了因不同操作者所導(dǎo)致的偏差，并始終保持穩(wěn)定的精度，提高了常規(guī)驗(yàn)證的可靠性。

*清晰的圖像：圖像陰影校正

奧林巴斯Stream軟件具有解決圖像角落周邊陰影問題的陰影校正功能。在配合強(qiáng)度闕值設(shè)置使用時(shí)，陰影校正可實(shí)現(xiàn)更加精確的分析。

半導(dǎo)體鏡片（二值化圖像）

右圖:  陰影校正可在整個(gè)視場(chǎng)上獲得均勻的照明效果。

全面可定制

MX63系列設(shè)計(jì)用于讓用戶能夠選擇各種光學(xué)器件滿足其特定的檢測(cè)和應(yīng)用需求。該系統(tǒng)可使用所有觀察方法。用戶還可從一系列的奧林巴斯Stream圖像分析軟件包中進(jìn)行選擇，以滿足其特定的圖像采集和分析需求。

兩個(gè)系統(tǒng)兼容多種樣品規(guī)格

MX63系統(tǒng)能夠檢測(cè)尺寸達(dá)200毫米的晶圓，而MX63L系統(tǒng)能夠以與MX63系統(tǒng)相同的較小占用空間，檢查尺寸達(dá)到300毫米的晶圓。模塊化設(shè)計(jì)可讓根據(jù)您的特定需求定制顯微鏡變得更加輕松。

MX63                     MX63L

紅外兼容性

紅外觀察可利用紅外物鏡透鏡實(shí)現(xiàn)，該物鏡能夠通過透射紅外線的硅特性讓操作人員實(shí)現(xiàn)對(duì)封裝和安裝在印刷電路板上的集成電路芯片內(nèi)部進(jìn)行非破壞檢測(cè)。5X到100X紅外物鏡可實(shí)現(xiàn)從可見光波長到近紅外波長的色差校正。

紅外物鏡透鏡          原始圖像             有色差

應(yīng)用

電極部件的紅外圖像

紅外（IR）可用于檢查集成電路芯片和其他玻璃基硅制造器件的內(nèi)部缺陷。

薄膜（左：明場(chǎng) / 右：偏光）

偏光可用于顯示材料的紋理和晶體樣貌。其非常適合檢測(cè)晶片和LCD結(jié)構(gòu)。

硬盤
 （左：明場(chǎng) / 右：DIC) 

微分干涉差(DIC)用于幫助觀察具有細(xì)微高度差異的樣品。該技術(shù)非常適合用于檢測(cè)諸如磁頭、硬盤介質(zhì)、以及拋光晶片等具有極小高度差的樣品。

半導(dǎo)體晶圓上的集成電路圖形
 （左：暗場(chǎng) / 右：MIX（明場(chǎng) + 暗場(chǎng)）

暗場(chǎng)是檢測(cè)標(biāo)本上細(xì)微劃痕或缺陷以及晶片等鏡面樣品的理想工具。MIX照明可讓使用者即可觀察圖形也可觀察色彩。

半導(dǎo)體晶片上的光致抗蝕劑殘留物
 （左：熒光 / 右: MIX（熒光 + 暗場(chǎng)）

熒光觀察適用于使用專用濾色片立方照明時(shí)能夠發(fā)光的樣品。其可用于檢測(cè)污染物和光致抗蝕劑殘留物。MIX照明可實(shí)現(xiàn)光致抗蝕劑殘留和集成電路圖形的觀察。

LCD濾光片
 （左：透射光 / 右：MIX (透射光 + 明場(chǎng))) 

這種觀察技術(shù)非常適合諸如LCD、塑料以及玻璃材料等透明樣品。MIX照明可實(shí)現(xiàn)濾色片顏色和電路圖形的觀察。