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詳細(xì)介紹
MX8R正置式半導(dǎo)體檢查顯微鏡采用突破性的大金相機(jī)架設(shè)計(jì)，可承載8英寸超大工作平臺(tái)，穩(wěn)固創(chuàng)新的機(jī)械結(jié)構(gòu)更好的滿足專業(yè)市場(chǎng)需求。
明場(chǎng)觀察（透射）
5W大功率LED，配以N.A.0.5聚光鏡，可以透照明下，觀察LCD彩色液晶顯示屏，器件框架邊緣等。
透射照明與反射照明為獨(dú)立控制，即可同時(shí)亮，也可單獨(dú)亮。
LCD 10X透射光
明場(chǎng)觀察（反射）
遠(yuǎn)心坷拉反射照明系統(tǒng)，配以全新設(shè)計(jì)的無(wú)限遠(yuǎn)平場(chǎng)消色差長(zhǎng)工作距金相物鏡，從低倍到高倍，都能得到清晰、平坦、明亮的高畫質(zhì)顯微圖像。
集成電路5X 明場(chǎng) 集成電路100X 明場(chǎng)
簡(jiǎn)易偏光觀察
將起偏器鏡及檢偏鏡插板插入照明的位置，即可進(jìn)行簡(jiǎn)易偏光觀察。檢偏鏡可分為固定式和360°旋轉(zhuǎn)式兩種。
PCB橫截面 20X 偏振光
暗場(chǎng)觀察
將暗場(chǎng)照明拉桿拉到位置，即可使用暗場(chǎng)功能，可以觀察物體表面的各種劃痕、雜質(zhì)點(diǎn)及其他細(xì)微缺陷，暗場(chǎng)功能只限于MX8R機(jī)型。
FPC 10X 暗場(chǎng)
DIC微分干涉觀察
在正交偏光的基礎(chǔ)上，插入DIC棱鏡，即可進(jìn)行DIC微分干涉相襯觀察。使用DIC技術(shù)，可以使物鏡表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果，極大的提高圖像的對(duì)比度。
5X、10X、20X專為DIC設(shè)計(jì)，使得整個(gè)視場(chǎng)的干涉一致，微分干涉效果非常出色，高倍物鏡DIC效果也較好。
導(dǎo)電粒子 20X DIC 晶圓 50X DIC
半導(dǎo)體檢查顯微鏡 MX8R產(chǎn)品尺寸圖
MX8R半導(dǎo)體檢查顯微鏡配置參數(shù)
光學(xué)系統(tǒng) | 無(wú)限遠(yuǎn)色差光學(xué)系統(tǒng) |
觀察方式 | 明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光/DIC |
觀察筒 | 30°傾斜，正像，無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，曈距調(diào)節(jié)：50-76mm,分光比：100:0或0:100 |
30°傾斜，倒像，無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察頭，曈距調(diào)節(jié)范圍50-76mm,三檔式分光比：0:100或20:80或100:0 | |
目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/25mm,視度可調(diào)，可帶單刻度十字分劃板 |
高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/26.5mm,視度可調(diào)，可帶單刻度十字分劃板 | |
物鏡 | 明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡（5X、10X、20X、50X 、 100X) |
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)明暗場(chǎng)消色差金相物鏡（5X、10X、20X、50X 、 100X) | |
轉(zhuǎn)換器 | 明暗場(chǎng)五孔轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽 |
明暗場(chǎng)、明場(chǎng)六孔轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽 | |
明場(chǎng)七孔轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽 | |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 反射式機(jī)架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm ；帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置；內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)，帶光亮度設(shè)定暗扭與復(fù)位按扭 |
明暗場(chǎng)反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場(chǎng)光闌，中心均可調(diào)；帶明暗場(chǎng)照明切換裝置；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 | |
載物臺(tái) | 8英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；平臺(tái)面積525mmx330mm,移動(dòng)范圍： 210mmx210mm ；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng)；玻璃載物臺(tái)板，（反射用） |
反射照明系統(tǒng) | 明暗場(chǎng)反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場(chǎng)光闌，中心均可調(diào)；帶明暗場(chǎng)照明切換裝置；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
攝影攝像 | 0.5X/0.65X/1X攝像接筒，C型接口，可調(diào)焦 |
其他 | 起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板；DIC微分干涉組件；反射用干涉濾色片組；高精度測(cè)微尺 |
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