詳細介紹
產(chǎn)品信息
主要特點
- 靈敏度: 10-13~100Pa?m3/s【He】
- 氦氣排氣速度:3 L/S
- 的本底恢復性能和極短的節(jié)拍時間
- 大屏幕液晶觸摸顯示面板,操作便捷
- 分析管采用長壽命的鍍氧化釷銥燈絲(內置兩根)
- 采用非接觸式干泵為無塵室提供更優(yōu)化的真空系統(tǒng)
- 無油/無塵/三年免維護(干泵)
應用領域
- 半導體和平板顯示器制造
- LED制造
- 鍍膜設備
- 制冷設備和空調的元件及部件
- 低溫壓力容器
- 閥門氣密性
- 撿漏航空部件,配件及系統(tǒng)