P-300F ，P-300BV Pro ALD 生產型原子層沉積機

PICOSUN P-300F Pro ALD
PICOSUN P-300BV Pro ALD

技術參數(shù)
。襯底尺寸和類型 200 mm 晶圓 25 + 2片/批次 (標準間距)
。150 mm晶圓50 + 2片/批次 (標準間距)
。100 mm晶圓50 + 2片/批次 (標準間距)

工藝溫度： 50 - 300 °C

基片傳送選件：

。 P-300F Pro: 27片晶圓盒對盒式全自動裝載（cassette-to-cassette），用PICOPLATFORM™200集群系統(tǒng)實現(xiàn)。
。P-300BV Pro: 52片晶圓盒對盒式全自動裝載，用真空批量load lock實現(xiàn)

標準 。 P-300F Pro: SEMI S2 認證
。P-300BV Pro: SEMI S2 認證（認證中）

前驅體 ：

。液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源
。前驅源余量傳感器, 并提供清洗和裝源服務
。6根獨立源管線，最多加載8個前驅體源

重量： 820 kg

尺寸 ：(W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm

選件： 集群工具, PICOFLOW™ 擴散增強器, N2發(fā)生器，尾氣處理器，定制設計，與工廠軟件連接服務。

驗收標準： 標準設備驗收標準為 Al2O3 工藝，

其他工藝可具體協(xié)商：其他工藝、應用具體驗收標準如
- 不均勻性
- 顆粒物含量
- 重金屬污染
- 電學性能