詳細介紹
英國HHV Auto500 GB 適合手套箱集成的真空鍍膜系統(tǒng)
Auto500GB是專門設(shè)計用于手套箱集成使用的鍍膜設(shè)備,滿足氧氣或水汽敏感的材料鍍膜的應用要求。該系統(tǒng)配了一個特殊結(jié)構(gòu)的真空腔室,可直接與市場上大多數(shù)手套箱集成到一起。真空腔室的前門可豎直滑動開關(guān),嵌入手套箱內(nèi),并占用很少的手套箱空間;其后門是鉸鏈扇式開關(guān),能在不影響手套箱內(nèi)氣氛的情況下輕松維護腔室內(nèi)工藝組件。
鍍膜源選項包括熱阻蒸發(fā)源、精密控溫的有機蒸發(fā)源、磁控濺射源以及電子束蒸發(fā)源。