詳細(xì)介紹
產(chǎn)品特點(diǎn):
■臺(tái)面材料采用優(yōu)質(zhì)濟(jì)南青大理石,表面精度高,耐腐蝕性強(qiáng)
■內(nèi)置精密空氣彈簧隔振系統(tǒng),具備優(yōu)異的隔振性能,自動(dòng)調(diào)節(jié)水平功能
■該產(chǎn)品適用于平面度要求高的實(shí)驗(yàn)
技術(shù)指標(biāo):
■平面度:00級(jí)
■固有頻率:1.0Hz~1.5Hz
■減振效率:x方向<5Hz時(shí):86%~92% y方向<5Hz時(shí):84%~90%
x方向<10Hz時(shí):90%~96% y方向<10Hz時(shí):88%~93%
■振幅:< 1.0μm
■重復(fù)定位精度:±0.05mm
接受客戶任意規(guī)格定制生產(chǎn)
備注:安裝費(fèi)用1500--5000元,視現(xiàn)場(chǎng)情況而定
裝配地點(diǎn):上海某光學(xué)科技公司
裝配地點(diǎn):中山大學(xué)微電子學(xué)院