無(wú)塵室運(yùn)轉(zhuǎn)與維護(hù)管理
無(wú)塵室的污染源可分為外污染及內(nèi)污染源。外污染源主要包括空調(diào)送風(fēng)、間隙滲入、建筑物、工作服、風(fēng)管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等;而內(nèi)污染源則包括制程設(shè)備、工作人員、工具、加工制程、隔間材料、工作桌、包裝材料等。
為微塵粒子的傳送路徑。無(wú)塵室潔凈度之維持和控制,除了硬設(shè)備之配合投資外,也需要良好的軟件——管理制度來(lái)搭配,方能維持良好的潔凈度;無(wú)塵室運(yùn)轉(zhuǎn)管理,可依作業(yè)人員、原物料、設(shè)備及無(wú)塵室內(nèi)所用東西等加以探討;無(wú)塵室內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外,制程設(shè)備也包括在內(nèi),本節(jié)將對(duì)該二系統(tǒng)之運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)及保養(yǎng)做一概略說(shuō)明。
塵室污染源運(yùn)轉(zhuǎn)管理維護(hù)保養(yǎng)
污染源控制 無(wú)塵室潔凈度之維持和控制,除了硬設(shè)備之配合投資外,也需要良好的軟件——管理制度來(lái)搭配,方能維持良好的潔凈度。無(wú)塵室內(nèi)之微污染來(lái)源,經(jīng)測(cè)試分析結(jié)果,作業(yè)人員占約80%,實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)顯示,作業(yè)人員進(jìn)出無(wú)塵室時(shí)塵埃有顯著增加,有人動(dòng)作時(shí),潔凈度馬上劣化,可見潔凈度劣化之原因人是主要因素。
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