擴(kuò)散硅壓力傳感器芯體是一種采用不銹鋼波紋膜片隔離的充油式OEM壓力敏感元件。被測(cè)壓力通過(guò)隔離膜片和灌注的硅油傳遞到具有惠斯登電橋的精密力學(xué)結(jié)構(gòu)的硅壓敏芯片上，實(shí)現(xiàn)了被測(cè)壓力和模擬信號(hào)精確轉(zhuǎn)換，再通過(guò)一個(gè)定制的集成電路進(jìn)行溫度補(bǔ)償和非線(xiàn)性修正并輸出符合I2C、SPI、MODBUS 485協(xié)議的壓力數(shù)據(jù)和溫度數(shù)據(jù)。數(shù)字輸出經(jīng)過(guò)歸一化，應(yīng)用性強(qiáng)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
● 具有表壓、絕壓和密封表壓形式
● 隔離式結(jié)構(gòu)，適用于多種流體介質(zhì)
應(yīng)用領(lǐng)域
● 壓力檢測(cè)儀表
● 制冷設(shè)備和空調(diào)系統(tǒng)
● 液壓系統(tǒng)及開(kāi)關(guān)
● 壓力校準(zhǔn)儀器
擴(kuò)散硅壓力傳感器芯體技術(shù)規(guī)格
| 量程： | -100kPa~0~60MPa |
| 壓力類(lèi)型： | 表壓、絕壓和密封表壓型 |
| 過(guò) 壓： | 1.5倍滿(mǎn)量程壓力 |
| 精 度： | ±0.25%FS |
| 供電電源： | （5±0.1）V DC；（3.3±0.1）V DC |
| 長(zhǎng)期穩(wěn)定性： | ±0.2%FS/年 |
| 工作溫度范圍： | -20~80℃ |
| 貯存溫度： | -40℃～125℃ |
| 振 動(dòng)： | 10g，20Hz～2000Hz |
| 沖 擊： | 100g，11ms |
技術(shù)特點(diǎn)：
1、靈敏度高
擴(kuò)散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50?80倍，它的滿(mǎn)量程信號(hào)輸出在80-100mv左右。對(duì)接口電路適配性好，應(yīng)用成本相應(yīng)較低。由于它輸入激勵(lì)電壓低，輸出信號(hào)大，且無(wú)機(jī)械動(dòng)件損耗，因而分辨率*。
2、精度高
擴(kuò)散硅壓力傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測(cè)三位一體，無(wú)機(jī)械動(dòng)件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，所以重復(fù)性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好，形變小，因而傳感器的線(xiàn)性也非常好，因此綜合表態(tài)精度很高。
3、可靠性高
擴(kuò)散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變數(shù)量級(jí)，膜片zui大位移量在來(lái)微米數(shù)量級(jí)，且無(wú)機(jī)械磨損、無(wú)疲勞、無(wú)老化。平均*時(shí)間長(zhǎng)，性能穩(wěn)定，可靠性高。
4、頻響高
由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高，一般在50KC。制造過(guò)程采用了集成工藝，膜片的有效面積可以很小，配以剛性結(jié)構(gòu)前置安裝特殊設(shè)計(jì)，使傳感器頻率響應(yīng)很高，使用帶寬可達(dá)零頻至100千赫茲。
5、溫度性能好
隨著集成工藝技術(shù)進(jìn)步，擴(kuò)散硅敏感膜的四個(gè)電阻*性得到進(jìn)一步提高，原始的手工補(bǔ)償已被激光調(diào)阻、 計(jì)算機(jī)自動(dòng)修整技術(shù)所替代，傳感器的零位和靈敏度溫度系數(shù)已達(dá)10-5/°C數(shù)量級(jí)，工作溫度也大幅度提高。
6、抗電擊穿性能好
由于采用了特殊材料和裝配工藝，擴(kuò)散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用，在強(qiáng)磁場(chǎng)、高電壓擊穿試驗(yàn)中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊。
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