halcyonics_sandwich重載主動減振平臺
基本原理
通常的被動減振體系如圖所示,由需要減振的裝置(mass M)和一個彈簧阻尼單元組成,它可以減小來自地板的高頻振動。但由于這種體系會在本征頻率時引起共振而增加振動,通常被動減振體系會設(shè)計成2 Hz 到5 Hz的本征頻率和1%到5%的輕微阻尼。主動減振體系是用一個調(diào)節(jié)器代替了粘滯阻尼器,根據(jù)sky-hook 阻尼控制理論,將減振裝置(mass M)速度的比例量作為反饋作用于減振裝置,這樣大大提高了減振的效果。
應(yīng)用領(lǐng)域
• 掃描探針顯微技術(shù)(AFM, STM)
• 納米力學(xué)探針
• 掃描電子顯微技術(shù)(SEM, FE-SEM)
• 共聚焦顯微術(shù)
• 超高真空掃描隧道顯微術(shù)(UHV-STM)
• 激光掃描顯微鏡
• 液晶生產(chǎn)設(shè)備
• 半導(dǎo)體檢測儀器
• 膜片鉗 (Patch-Clamp)技術(shù)
• 光學(xué)輪廓儀
• 生命科學(xué)Screening stations
• 顯微硬度檢測儀
• 光學(xué)干涉儀
• 超微量天平
halcyonics_sandwich重載主動減振平臺性能特點
主動減振體系是用一個調(diào)節(jié)器代替了粘滯阻尼器,根據(jù)sky-hook 阻尼控制理論,將減振裝置(mass M)速度的比例量作為反饋作用于減振裝置,這樣大大提高了減振的效果。
?安裝方便
?操作簡單
性能穩(wěn)定
?低頻振動效果猶佳