分析探針臺T2000
顯微鏡成像系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):
●無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng),管鏡焦距200mm
●鉸鏈?zhǔn)饺跨R筒,30°傾斜,瞳距55-75mm
●高眼點,大視場目鏡WF10X/25
●長工作距離,平場復(fù)消色差物鏡2X/0.055,5X/0.14,10X0.28,20X/0.29,50X/0.42
●五孔物鏡轉(zhuǎn)換器,物鏡螺紋M26X0.706
●同軸粗微調(diào)焦機構(gòu),微動格值0.002mm
●100W鹵素?zé)艄饫w照明
●1800萬象素高清數(shù)碼成像采集系統(tǒng)
●imageAnalysisSyste11.0專業(yè)的圖像預(yù)覽分析軟件
探針臺部分技術(shù)參數(shù):
?尺寸:500mmW*500mmD*700mmH
?6"卡盤,采用中心吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品,均獨立控制,中心吸附孔最小可以選擇250微米
?卡盤平整度:5μm,標(biāo)準(zhǔn)卡盤可360度無間隙旋轉(zhuǎn)
?卡盤旋轉(zhuǎn)微調(diào)+-15°,調(diào)節(jié)精度0.1°
?卡盤微調(diào)升降,行程4mm,精度1微米
?卡盤X/Y軸無間隙移動,采用大手柄旋轉(zhuǎn)控制,行程:6英寸X6英寸,移動精度:1um,并帶鎖死裝置
?可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y平面2"x2"范圍內(nèi)移動,精度1微米(系統(tǒng)不包含顯微鏡)
?可調(diào)節(jié)顯微鏡快速傾仰,便于更換物鏡,帶自動鎖定功能
?平臺快速升降行程6mm并帶自動鎖定功能
?平臺上下微調(diào)行程25mm,升降精度1um
?平臺可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡,便于針卡重定位