該區(qū)域提純爐主要由:高溫梯度爐、真空爐管、真空法蘭、電子真空計(jì)、質(zhì)量流量計(jì)、分子泵組、直線導(dǎo)軌、速度控制器等重要部件構(gòu)成。廣泛用于半導(dǎo)體鍺、硅提純還可以用于金屬、金屬間化合物提純。
主要技術(shù)參數(shù):
工作溫度:1200℃
爐管長(zhǎng)度:1200mm
爐管直徑:50mmm
爐管厚度:5mm
密封方式:不銹鋼真空法蘭
真空度:1.0X10E-3Pa
流量計(jì)類型:質(zhì)量流量計(jì)
氣體流量:100SCCM、200SCCM、500SCCM
載料舟長(zhǎng)度:200mm
移動(dòng)速度:160mm/60min(可根據(jù)實(shí)際要求調(diào)節(jié))
溫度控制:50段可編程控制
控制系統(tǒng):全電腦程序控制