等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件,不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質(zhì)的薄膜。為了提高鍍膜質(zhì)量,本臺(tái)二合一鍍膜儀采用的不銹鋼真空腔體配合精密分子泵的高真空設(shè)計(jì),較高的真空度能夠有效的提升鍍膜純凈度和均勻度,有利于得到更好的實(shí)驗(yàn)效果。樣品臺(tái)有旋轉(zhuǎn)和加熱功能,能夠提高薄膜的附著力和成膜的均勻度。本儀器體積小,節(jié)省空間,能夠置于試驗(yàn)臺(tái)上使用,非常適合各大高校及研究機(jī)構(gòu)選用。
小型高真空二合一鍍膜儀適用范圍:
掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作,以及非導(dǎo)體材料試驗(yàn)電極的制作等。
小型高真空二合一鍍膜儀技術(shù)參數(shù):
小型高真空二合一鍍膜儀 | ||||
樣品臺(tái) | 尺寸 | φ138mm | 控溫精度 | ±1℃ |
加熱溫度 | *高500℃ | 轉(zhuǎn)速 | 1-20rpm可調(diào) | |
直流濺射頭 | 數(shù)量 | 2”×1 |
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蒸發(fā)系統(tǒng) | 蒸發(fā)源 | 鎢絲籃 | *高溫度 | 1700℃ |
熱電偶 | S型熱電偶 |
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真空腔體 | 腔體尺寸 | φ170mm×200mm | 觀察窗口 | 石英觀察窗 φ70 |
腔體材料 | 不銹鋼 | 開(kāi)啟方式 | 上開(kāi)啟式 | |
真空系統(tǒng) | 產(chǎn)品型號(hào) | CY-GZK103-A | 抽氣接口 | KF40 |
分子泵 | CY-600 | 排氣接口 | KF16 | |
前極泵 | 旋片泵 | 真空測(cè)量 | 復(fù)合真空計(jì) | |
極限真空 | 1.0E-5Pa | |||
抽氣速率 | 分子泵:600L/S 旋片泵:1.1L/S 綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達(dá): 1.0E-3Pa | |||
濺射電源配置 | 數(shù)量 | 直流電源×1 | Max 輸出功率 | 150w |
其他 | 供電電壓 | AC220V,50Hz | 整機(jī)尺寸 | 600mm×300mm×470mm |
整機(jī)功率 | 1.5kw | 整機(jī)重量 | 40kg |
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