一、應(yīng)用范圍:
本膜厚監(jiān)控儀適用于真空電阻熱蒸發(fā)、磁控濺射等鍍膜厚度測(cè)量,到達(dá)設(shè)置厚度自動(dòng)關(guān)閉擋板;通過(guò)液晶顯示使您能連續(xù)獲取完整的沉積數(shù)據(jù),包括速率、厚度和晶體振蕩頻率。
二、技術(shù)參數(shù):
| CY-FTM-V監(jiān)控儀 |
晶振頻率 | 6MHz |
顯示方式 | 液晶屏顯示 |
操作方式 | 面板按鍵 |
厚度顯示范圍 | 0-99μ9999? |
厚度顯示分辨率 | 1? |
速率顯示范圍 | 0-9999.9? |
速率顯示分辨率 | 0.1?/s |
鍍膜層數(shù) | 16 |
探頭輸入 | 4路(任選一路工作) |
工具因子 | 0.01-99.99 |
材料存儲(chǔ) | 52種 |
鍍膜巡回次數(shù) | 0-99 |
通 訊 | RS232 |
源/擋板 | 2組繼電器觸點(diǎn) |
機(jī)箱尺寸 | 480×250×89mm(2U 19”機(jī)箱) |