技術參數(shù)
樣品臺 尺寸 100mm 旋轉速度 1~20rpm可調(diào) 加熱溫度 ≤500℃ 控溫精度 ±1℃ PID控溫 等離子濺射靶 數(shù)量 2英寸x3 冷卻方式 水冷 真空腔體 腔體尺寸 φ180mm X 210mm 觀察窗口 全向可視 腔體材料 高純石英 開啟方式 頂蓋拆卸式 上下蓋材質 304不銹鋼 抽氣接口 KF16 進氣接口 1/4英寸卡套接頭 電源配置 數(shù)量 直流電源x1 輸出功率 *大150W 濺射電源 1200V *大濺射電流 50mA 真空系統(tǒng) 真空泵類型 雙極旋片真空泵 抽氣接口 KF16 排氣接口 KF16 抽氣速率 1.1L/s(4m3/h) 極限真空度 ≥0.1Pa 真空測量 電阻真空規(guī) 其他 供電電源 AC 220V 50Hz 整機功率 2kW 整機尺寸 500mm X 320mm X470mm 整機重量 30kg