樣品氣體 | N2, Ar, He, H2, Ne, etc. |
操作范圍 | 0-0.1ppm~0-100ppm, 用戶(hù)自行設(shè)定 |
穩(wěn)定性 | ±5%以?xún)?nèi),24小時(shí)測(cè)定 |
進(jìn)氣口尺寸(樣品氣和零氣) | 3.18mm VCR 公頭 |
模擬信號(hào)輸出 | DC 0-20mA /4-20mA (DIN 5P), 絕緣出力max:750Ω |
數(shù)字信號(hào)輸出 | DC 5 to 35V max:100mA |
數(shù)據(jù)記錄 | 1-60分鐘(1分鐘間隔)、1-24小時(shí)(1小時(shí)間隔)、全500條數(shù)據(jù) |
溫度范圍 | 10℃~35℃ ±5℃/24小時(shí), RH20%~80% |
尺寸 | 335mm(寬)×425mm(深)×335mm(高) |
應(yīng)用場(chǎng)合:
●半導(dǎo)體、LCD、鋰電池等制造廠(chǎng)中的過(guò)程氣體的微量氧監(jiān)測(cè)
●煤氣精制裝置出口的微量氧監(jiān)測(cè)
●氣體制造廠(chǎng)中的微量氧監(jiān)測(cè)
●高純度氣管道的評(píng)估和確認(rèn)
●各種裝置、部件的評(píng)價(jià)和確認(rèn)