GDA 750/GDA 550是高靈敏度、高性能的光譜儀,可適用于表面和涂鍍層的化學(xué)元素含量分析。
多達(dá)79個分析通道,采用PMT檢測器,GDA 750/GDA 550型輝光放電光譜儀是高分辨率、高靈活性和高分析精度的儀器,同時可安裝的高分辨率CCD光學(xué)系統(tǒng)(選裝件),允許同時分析所有元素,具備全譜功能,也可在現(xiàn)有的方法中添加任一元素的任一譜線。
這種靈活性在實(shí)際分析中,尤其對于元素含量和深度測定中至關(guān)重要。所有元素,包括輕元素(H,O,N,CI,和C)均可測定。
在含量-深度測量中,分析深度可達(dá)200um以上, 層分辨率可達(dá)1納米。GDA 750/GDA 550也可進(jìn)行基體總量分析,尤其對于復(fù)雜基體,具備優(yōu)異的線性校準(zhǔn)曲線。檢出限可達(dá)亞ppm級。
GDA 750/GDA 550裝備有*一代的輝光激發(fā)光源,濺射直徑從1mm至8mm。采用通用樣品夾具,也可進(jìn)行小樣品和異形樣品的分析,無需更換特殊電極。
GDA 750也可選裝配置脈沖式射頻光源(選裝件),用于分析非導(dǎo)體材料。采用脈沖式射頻光源后,可分析非導(dǎo)體、熱敏感樣品,如:陶瓷、玻璃、有機(jī)涂層、有機(jī)薄膜。還可選裝配置特殊樣品轉(zhuǎn)移室(選裝件),用于分析極薄的薄膜和在空氣中易氧化的薄膜。
激發(fā)光源
-同一激發(fā)光源允許安裝直徑為1mm至8mm電極,從而保證優(yōu)秀的穩(wěn)定性和重復(fù)性
高效的樣品直接冷卻。可直接分析熱敏感樣品、極薄的金屬薄膜和有機(jī)薄膜。如可直接分析50um的不銹鋼薄膜
-優(yōu)化的氬氣流量控制,可以同時實(shí)現(xiàn)低檢出限和高深度分辨率
-專門設(shè)計(jì)的自動清掃裝置,保證了高精度、高重復(fù)性測量
-*樣品分析厚度45mm,*小厚度50um
-*程序自動控制的直流光源(DC),電壓*可達(dá)1500V,電流250mA
-*程序自動控制的射頻光源(RF),功率*150W,電壓、電流自動監(jiān)控,實(shí)時等離子自動調(diào)節(jié)、脈沖工作模式(選裝件、僅GDA 750有效)
-選裝件:自動進(jìn)樣器,程序控制100位
光學(xué)系統(tǒng)
-光譜分辨率優(yōu)于20pm(FWHM)
-光譜范圍:190nm--800nm
-Paschen-Runge光學(xué)系統(tǒng), 焦距750mm
-全息原刻光柵,2400線/mm
-出射狹縫,預(yù)設(shè)所有元素通道
-可同時安裝63個分析通道,選用選裝件(400mm),可再附加16個分析通道
-方便易操作的透鏡清潔,可立即進(jìn)行分析
-優(yōu)化的檢測器高壓系統(tǒng),定量測試時,線性動態(tài)范圍106
-檢測器增益自動調(diào)節(jié)
-選裝件:高性能CCD光學(xué)系統(tǒng), 光譜范圍200nm--800nm。光譜分辨率可達(dá)0.02nm(FWHM)。與主光學(xué)系統(tǒng)同時工作
-CCD光學(xué)系統(tǒng)可無限制添加分析通道,真正實(shí)現(xiàn)全譜同時測量
-選裝件:單色儀,光譜范圍可擴(kuò)展至1500nm??赏瑫r安裝3個光柵,獨(dú)立工作。
真空系統(tǒng)
-全不銹鋼殼體,可充分保證痕量元素的分析,尤其對于N元素分析
-光室真空采用二級旋轉(zhuǎn)葉片真空泵,噪音<50dB
-光源使用無油真空泵,*免除C,H,O,S,P等元素污染
-內(nèi)置安全閥設(shè)計(jì),以避免突然斷電對旋轉(zhuǎn)葉片泵的損害
-選裝件:渦輪分子泵
WinGDOES軟件
-WindowsXP或更高平臺運(yùn)行
-使用界面簡單、易懂,分級管理和操作
-功能強(qiáng)大
-方法建立簡便,在線指導(dǎo)
-校準(zhǔn)樣品管理,樣品添加
-多種校準(zhǔn)模式
-QDP定量分析校準(zhǔn)
-用戶定制測量報告模式
-數(shù)據(jù)處理和再處理功能
-多種格式數(shù)據(jù)輸出
-分析過程中界面語言切換
應(yīng)用
-熱處理
精確測量所關(guān)心元素的含量-深度分布,定性、定量檢測表面污染物、夾雜物和物相比例
-涂鍍層
可獲得涂鍍層完整的化學(xué)組分信息、層厚度,元素含量-深度分布。非導(dǎo)體涂鍍層,如:油漆、釉等可采用RF光源分析
-硬質(zhì)合金層
快速分析硬質(zhì)合金層和熱處理工件的滲層化學(xué)組分
-陶瓷
采用RF光源可精確可靠的測量
-電鍍
測量電鍍層的復(fù)雜結(jié)構(gòu)和過渡界面信息,化學(xué)組分含量、層厚、質(zhì)量分布,也可進(jìn)行缺陷鑒別和分析
-化學(xué)組分
精確測量化學(xué)元素含量
高精度、高重復(fù)性檢測
快速分析:<60s
可分析從H至U的所有元素, 檢測范圍從ppm至*
-太陽能電池薄膜
檢測太陽能光伏電池薄膜中化學(xué)元素含量分布,如:Cu(In,Ga)Se2
輝光放電光譜儀主要應(yīng)用領(lǐng)域
-汽車制造及零部件
-金屬加工、制造
-冶金
-航空、航天
-電子工業(yè)
-玻璃、陶瓷
-表面處理:化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積等
-電鍍
-光伏電池、鋰電
-科學(xué)研究