光刻膠無氧晶圓烘箱

一．概述：
無氧烤箱晶圓封裝無氧箱，無氧化烘箱，在工作時，工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧化烘箱在工業(yè)中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板……

二．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
1.名稱及型號：雙工作腔無氧烤箱  AO-2DSL FCNET（支持 ONET-240 網(wǎng)絡(luò)聯(lián)機功能）
2、主要技術(shù)指標(biāo)：
2.1工作尺寸：W1000*D500*H610*2 mm
2.2電源：380V 3φ 50HZ 18KVA
2.3含氧量控制要<= 100PPM。
2.4溫度范圍： RT（室溫）+60～ +300℃；
2.5溫度均勻度：±1.5%;
2.6升溫速率：室溫～250℃，45分鐘(空箱測試)。（客戶工藝高溫度300℃）
2.7風(fēng)冷降溫：100 分鐘內(nèi)降溫可從250℃達(dá)到 70℃

3、箱體結(jié)構(gòu)：
3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)部分組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；
3.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機臺本身產(chǎn)生微塵；
3.3箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵；
3.4內(nèi)膽材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘 烤時產(chǎn)生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊 密封加工(防污染)。
3.6保溫材料：硅酸鋁棉；
3.7夾層降溫：夾層風(fēng)冷降溫

4、溫控系統(tǒng)
4.1控制器采用二合一PLC觸摸屏控制兩個腔體獨立運行，隨時切換。
4.2溫度測量：采用特制鍇裝鉑電阻；
4.3氮氣控制系統(tǒng)：有雙流量計的智能控制氮氣系統(tǒng)。
5、完善的安全保護(hù)措施：漏電斷路器//超溫保護(hù)//欠相保護(hù)//馬達(dá)過載電流保護(hù)//機臺異常蜂鳴器警示