K975X/K975S高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀
K975X渦輪泵高真空蒸鍍儀是一個(gè)多用途鍍膜系統(tǒng),它具有靈活性和模塊化擴(kuò)展功能,以適應(yīng)不同的樣品制備。K975X可實(shí)現(xiàn)一系列制樣技術(shù),包括TEM的碳支持膜及覆形膜,碳/金屬蒸鍍、低角度投影(可選)和通過(guò)使用雙源蒸發(fā)(可選)進(jìn)行順序鍍層,濺射鍍膜附件(可選)能適用于多種靶材。*的抽屜式樣品裝載系統(tǒng)使得用戶可方便地放入各種樣品,鉸鏈?zhǔn)巾斏w結(jié)構(gòu)也很容易到達(dá)工作腔室內(nèi)的各個(gè)區(qū)域。
K975S基于K975X,但它具有特殊的和更大的樣品裝載門,可允許放入8英寸(200mm)晶圓或類似大樣品鍍碳。碳棒蒸發(fā)源直接安裝在真空腔室頂蓋板上,便于碳槍操作,并為大直徑樣品提供所需的蒸發(fā)源至樣品的距離。與K975X不同,K975S沒(méi)有安裝金屬蒸發(fā)源以及相應(yīng)的底板安裝立柱。
儀器特點(diǎn):
• 全自動(dòng)抽真空系統(tǒng)
• 樣品尺寸可達(dá)140毫米見(jiàn)方或200毫米直徑
• *設(shè)計(jì)的“anti-stick”碳棒蒸發(fā)槍
• 抽屜式樣品裝載系統(tǒng)
• 可選的蒸鍍類型,具有四種蒸發(fā)設(shè)置
• 有節(jié)制的破真空排氣控制
• 可選濺射附件
• 可選膜厚監(jiān)測(cè)附件(FTM)
推薦應(yīng)用:
• 碳棒/碳繩蒸發(fā)
• 金屬蒸發(fā)
• 掃描電鏡光闌清潔(鉬舟)
• TEM用碳支撐膜和覆形膜
• 低角度陰影
• 采用雙源蒸發(fā)的連續(xù)鍍層
• EDX、WDS、EBSD分析
• 可選的磁控濺射應(yīng)用
對(duì)于SEM應(yīng)用的機(jī)械泵抽真空的噴金噴碳儀,請(qǐng)參見(jiàn)SC7620和Q150R Plus。對(duì)于FE-SEM應(yīng)用所需的超細(xì)顆粒鍍膜,建議采用高真空鍍膜儀,請(qǐng)參見(jiàn)Q150T Plus、Q150V Plus或Q150GB;如需大腔室版本的鍍膜系統(tǒng),請(qǐng)參見(jiàn):Q300T T Plus、Q300T D Plus、Q300T ES Plus和K975X/K975S。這些產(chǎn)品科研用途。