無塵烘箱HSCOL-2D系列

無塵烘箱特點(diǎn)：

HSCOL-2D系列無塵烘箱系用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤，強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到佳溫度控制精度。無塵潔凈烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。無塵烘箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

無塵烘箱詳細(xì)資料：

一．特點(diǎn)：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 10
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
3.采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE；
4.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 10,排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)

二．執(zhí)行與滿足標(biāo)準(zhǔn)
1.GB/T11158-1989高溫試驗(yàn)箱技術(shù)條件
2.GB2423.2-1989試驗(yàn)B

三．無塵烘箱用途
無塵潔凈烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。
無塵潔凈烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

四．無塵烘箱技術(shù)參數(shù)
1.名稱及型號(hào)：無塵潔凈烤箱 HSCOL-2D
2.主要技術(shù)指標(biāo)：
2.1無塵等級(jí)：Class 10;
2.2溫度范圍： 60～ +300℃；
2.3溫度均勻度：200℃±3℃、300℃±4℃;
2.4溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）
2.5溫控精度：±0.1℃;
2.6潔凈烤箱擱板為活動(dòng)形式。(兩箱式)
2.7電源：380v , 50Hz，12Kw

3、無塵烘箱體結(jié)構(gòu)：
3.1無塵烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；
3.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵；
3.3箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵；
3.4內(nèi)膽材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE；
3.5中桶材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。

4、溫控系統(tǒng)
4.1采用日本OMRON E5A型溫度控制器，潔凈烤箱 控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動(dòng)演算、薄膜設(shè)定，精確度±0.3%FS。；
4.2訊號(hào)來源：采日制進(jìn)口CA感應(yīng)棒±0.5%。
4.3輸出被控制組件：SSR無接點(diǎn)訊號(hào)輸出。

5、完善的安全保護(hù)措施：
漏電斷路器
控制線路保險(xiǎn)絲裝置
超溫防止保護(hù)裝置
電熱過電流保護(hù)裝置
馬達(dá)過電流保護(hù)
機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示
逆向防止器
門面安全開關(guān)

6、無塵烘箱選購設(shè)備：
6.1 可程式溫控器
6.2六點(diǎn)溫度記錄儀
6.3三色指示燈
6.4烘烤架