基本參數(shù)說(shuō)明:
1.臺(tái)面為鋁合金(因?yàn)殇X合金導(dǎo)熱性好),尺寸為4英寸/6英寸,平面度5μm
2. 4英寸的帶3個(gè)真空吸附孔,6英寸的帶4個(gè)真空吸附孔
3.*無(wú)油氣泵,7L/分鐘,可以連續(xù)工作
4.可以通水或氣體循環(huán)冷卻
5.含加熱功能,搭配日本島電儀表溫控臺(tái),加熱溫度300攝氏度,控溫精度±1°,有效區(qū)域內(nèi)溫度均衡性±5°
6.可以選配制冷功能,溫度﹣130攝氏度(真空環(huán)境下)
7.具備快速冷功能,配置水冷卻接口,可連接水冷機(jī)實(shí)現(xiàn)快速降溫功能!