手動(dòng)行程可達(dá)±6.5mm。電動(dòng)行程可達(dá)30um,分辨率20nm以下,方便快捷,每個(gè)可以調(diào)整。撥號(hào)盤式把手的微動(dòng)調(diào)整,即使與微儀表頭并用也能無(wú)抵抗地使用。
通過(guò)在手動(dòng)級(jí)主機(jī)上追加皮佐輔助機(jī)構(gòu),可以進(jìn)行20nm以下的微動(dòng)調(diào)整。適用于需要高分辨率的位置調(diào)整的手動(dòng)級(jí)單元和系統(tǒng)。
尺寸為25x25、40x40、60x60mm。
信息:
對(duì)于微動(dòng)機(jī)構(gòu)的調(diào)整請(qǐng)使用PASC專用控制器(PASC),在piez輔助平臺(tái)上,
附帶有輔助控制器專用連接電纜(2m)
通用指標(biāo):
品類 | TADC-251SPA | TADC-401SPA | TADC-601SPA |
型號(hào) | TADC-251SRPA | TADC-401SRPA | TADC-601SRPA |
尺寸[mm] | 25×25 | 40×40 | 60×60 |
軸型 | X軸 | ||
粗動(dòng)移動(dòng)量[mm] | ±3 | ±6.5 | ±6.5 |
微動(dòng)移動(dòng)量 | 25µm以上 | 30µm以上 | 30µm以上 |
微操作位置 | 側(cè)面 | ||
移動(dòng)量/1旋轉(zhuǎn)[mm] | 0.5mm | 0.5mm | 0.5mm |
微儀最小讀取[mm] | 0.01mm | 0.01mm | 0.01mm |
微動(dòng)最小分解能 | 20nm以下 | 20nm以下 | 20nm以下 |
主要材質(zhì) | 鋁 | ||
耐荷重[N] | 39.2(4.0kgf) | 49(5kgf) | 49(5kgf) |
移動(dòng)精度/真直度 | 3μm | 3μm | 3μm |
平行度[μm | 30 | 30 | 30 |
移動(dòng)平行度[μm] | 10 | 10 | 10 |
質(zhì)量[kg] | 0.07 | 0.16 | 0.25 |
外觀圖: