URE-2000/25 型紫外單面光刻機
技術參數(shù)
。曝光面積:4 英寸
。曝光波長:365nm
。分辨力:1 μm(膠厚 2 μm的正膠)
。對準精度:± 0.8μm
。掩模樣片整體運動范圍:X:15mm;Y:15mm
。掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
。樣片尺寸:直徑 Ф15mm-- Ф100mm(各種不規(guī)則片),厚度 0.1mm--6mm
。曝光方式:定時(倒計時方式)和定劑量
。照明不均勻性: 3%( Ф100mm 范圍)
。雙目雙視場對準顯微鏡:既可通過目鏡目視對準,也可通過 CCD+顯示器對準,光學合像,光學倍數(shù) 400 倍, 光學+電子放大 800 倍
物鏡三對:4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對:4 倍、10 倍、20 倍
。掩模相對于樣片運動行程:
X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6º
。焦厚:350μm(SU8 膠,用戶提供檢測條件)
。光源平行性:3.5 º
。曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面溫度<35 º
。汞燈功率:350W(直流,進口)33
2.外形尺寸:1200mm(長)x900mm(寬) x1750mm(高)
3.配置
(1)曝光頭
。冷光橢球鏡
。350W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
。冷卻風扇
。光學系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組(79 個透鏡)、i 線濾光片、場鏡1、場鏡 2、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
(2)對準工件臺
。掩模樣片整體運動臺
。掩模樣片相對運動臺
。轉(zhuǎn)動臺
。樣片調(diào)平機構(gòu), 手動
。樣片調(diào)焦機構(gòu),手動
。承片臺 3 個(Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm)
。掩模夾 4 個(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸)
?;槔缴舷聶C構(gòu)
(3)對準顯微鏡
。光源(配備品 2 只)、電源
。雙目雙視場對準顯微鏡主體
。目鏡 3 對(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 個)
。CCD 及 21 英寸液晶顯示器
。物鏡 3 對(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 個)
(4)電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
。單片機控制系統(tǒng)
。控制箱
(5)氣動系統(tǒng)
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
。電磁閥驅(qū)動
。氣動儀表
(6)其他附件
。真空泵一臺
??諌簷C一臺
。管道