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URE-2000/25 型紫外單面光刻機

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱深圳市藍星宇電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2021/7/23 20:49:03
  • 訪問次數(shù)588
產(chǎn)品標簽:

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深圳市藍星宇電子科技有限公司,經(jīng)過十多年的紫外光專業(yè)技術沉淀,可以根據(jù)客戶特殊要求提供定制化服務,研發(fā)設計組裝:紫外臭氧清洗機(UV清洗機),準分子清洗機,等離子清洗機/去膠機等科研以及生產(chǎn)設備,擁有自主品牌及注冊商標。 同時我們代理歐美日多家高科技設備廠家高性價比產(chǎn)品, 始終堅持創(chuàng)新, 技術, 服務, 誠信的企業(yè)文化,為廣大中國及海外客戶提供的儀器設備和材料的整體解決方案。 應用領域: 半導體/微納,光電/光學, 生命科學/生物醫(yī)療等領域的研發(fā)和生產(chǎn), 客戶群體例如高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機構(gòu)等。 半導體/微納,光電/光學 產(chǎn)品主要有: 德國ParcanNano(Nano analytik)針尖光刻機,電子束光刻機, 激光直寫光刻機,紫外光刻機,微納3D打印機,德國Sentech刻蝕機/鍍膜機及原子沉積,英國HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機,微波離子沉積機MPCVD,芬蘭Picosun原子層沉積機,電子顯微鏡, 德國Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀,美國Sonix超聲波顯微鏡, 德國耐馳Netzsch熱分析儀, 德國Optosol吸收率發(fā)射率檢測儀, 日本SEN UV清洗機/UV清洗燈,美國Jelight紫外清洗機/紫外燈管,德國Diener等離子清洗機等*技術產(chǎn)品。 生命科學/生物醫(yī)療 產(chǎn)品主要有:PCR儀,核酸質(zhì)譜儀/核酸檢測儀,電子顯微鏡,紫外設備,光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀,生物芯片,試劑,實驗耗材等。 并可依據(jù)客戶需求,研發(fā)定制相關產(chǎn)品。我們以高性價比的優(yōu)勢為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務,為高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機構(gòu)等客戶提供儀器設備和材料。
電子顯微鏡
URE-2000/25 型紫外單面光刻機,曝光面積:4 英寸,分辨力:1 m(膠厚 2 m的正膠),對準精度: 0.8m
URE-2000/25 型紫外單面光刻機 產(chǎn)品信息

URE-2000/25 型紫外單面光刻機

技術參數(shù)

。曝光面積:4 英寸

。曝光波長:365nm

。分辨力:1 μm(膠厚 2 μm的正膠)

。對準精度:± 0.8μm

。掩模樣片整體運動范圍:X:15mm;Y:15mm

。掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

。樣片尺寸:直徑 Ф15mm-- Ф100mm(各種不規(guī)則片),厚度 0.1mm--6mm

。曝光方式:定時(倒計時方式)和定劑量

。照明不均勻性: 3%( Ф100mm 范圍)

。雙目雙視場對準顯微鏡:既可通過目鏡目視對準,也可通過 CCD+顯示器對準,光學合像,光學倍數(shù) 400 倍, 光學+電子放大 800 倍

物鏡三對:4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對:4 倍、10 倍、20 倍

。掩模相對于樣片運動行程:

X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±

。焦厚:350μm(SU8 膠,用戶提供檢測條件)

。光源平行性:3.5 º

。曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面溫度<35 º

。汞燈功率:350W(直流,進口)33

2.外形尺寸:1200mm(長)x900mm(寬) x1750mm(高)

3.配置

(1)曝光頭

。冷光橢球鏡

。350W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺

。冷卻風扇

。光學系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組(79 個透鏡)、i 線濾光片、場鏡1、場鏡 2、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

(2)對準工件臺

。掩模樣片整體運動臺

。掩模樣片相對運動臺

。轉(zhuǎn)動臺

。樣片調(diào)平機構(gòu), 手動

。樣片調(diào)焦機構(gòu),手動

。承片臺 3 個(Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm)

。掩模夾 4 個(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸)

?;槔缴舷聶C構(gòu)

(3)對準顯微鏡

。光源(配備品 2 只)、電源

。雙目雙視場對準顯微鏡主體

。目鏡 3 對(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 個)

。CCD 及 21 英寸液晶顯示器

。物鏡 3 對(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 個)

(4)電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)

。單片機控制系統(tǒng)

。控制箱

(5)氣動系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等

。電磁閥驅(qū)動

。氣動儀表

(6)其他附

。真空泵一臺

??諌簷C一臺

。管道

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