性能特點(diǎn)
1)JX-4400為***FPD檢查顯微鏡,專為LCD行業(yè) / TFT玻璃 / COG導(dǎo)電粒子壓痕、粒子爆破檢查
2)JX-4400機(jī)型采用4寸、6寸平臺設(shè)計(jì),可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查
3)JX-4400,其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美
4)JX-4400機(jī)型采用全新設(shè)計(jì)的長工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù),多層寬帶鍍膜技術(shù),采用長壽命LED光源
5)多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗(yàn)需要,可用于明場、簡易偏光、微分干涉觀察
主要技術(shù)規(guī)格:
★ 無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)(CSIS)
★ 高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/22mm,(可選:PL10X22R、PL15X16)
★ 無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,30°傾斜
(可選:無限遠(yuǎn)正像鉸鏈三通觀察筒,25°傾斜)
★ 無限遠(yuǎn)長工作距平場消色差金相物鏡(標(biāo)配)
LMPL 5X/0.15 WD10.8mm LMPL 10X/0.3 WD10mm
LMPL 20X/0.45 WD4mm LMPL 50X/0.55 WD7.8mm
LMPL 100X/0.80 WD2.1mm
(可選:DIC專用物鏡、OLYMPUS無限遠(yuǎn)明場物鏡)
★ 1/2CTV攝像接口(0.5X),C接口,可調(diào)焦
(可選:1XCTV攝像接口(1X),C接口,可調(diào)焦)
★ 內(nèi)定位5孔轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽
★ 反射式機(jī)架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程30mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和防止打壞切片、快速聚焦的隨機(jī)上限位裝置
(可選:透反兩用機(jī)架,內(nèi)置5W LED透射光照明系統(tǒng),上下光可獨(dú)立控制)
★ 反(落)射照明器,柯拉照明系統(tǒng),帶視場光闌與孔徑光闌,中心可調(diào);帶斜照明裝置;90-240V寬電壓,單顆3W LED 6500K,亮度可調(diào)
★ 4英寸雙層機(jī)械平臺,低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié);平臺面積230×215mm,行程105×105mm;金屬載物臺板。(另有透反兩用平臺)
(可選:6英寸三層機(jī)械移動平臺,平臺面積445×240mm,行程158×158mm;帶快速移動裝置;玻璃載物臺板,透反兩用平臺)
★ 可選配藍(lán)色、綠色、紅色干涉濾光片
★ 360度旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板、Φ30起偏鏡插板
★ 可選配標(biāo)準(zhǔn)微分干涉(DIC)裝置、OLYMPUS微分干涉(DIC)裝置