SOPTOP半導(dǎo)體12寸晶圓檢查顯微鏡MX-12R
靈活的系統(tǒng)組合、**的成像性能、穩(wěn)定的系統(tǒng)結(jié)構(gòu),**應(yīng)用于工業(yè)檢測(cè)及金相分析領(lǐng)域
各操作機(jī)構(gòu)根據(jù)人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),*大限度減輕使用疲勞。模塊化的部件設(shè)計(jì),可對(duì)系統(tǒng)功能進(jìn)行自由組合。
全新設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距**金相物鏡,高倍物鏡采用半復(fù)消技術(shù)。
各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對(duì)比度的顯微圖像。
附件齊全,配置完善,可靈活進(jìn)行系統(tǒng)組合與功能拓展。
人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)、堅(jiān)實(shí)可靠的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)。
**的光學(xué)設(shè)計(jì),支持多種觀察技術(shù),充分滿足各類超大平臺(tái)設(shè)計(jì),半導(dǎo)體/FPD檢測(cè)需
全自動(dòng)化方案,讓工業(yè)檢測(cè)更輕松、更便捷、更高效
12寸超大平臺(tái)設(shè)計(jì),為半導(dǎo)體/FPD行業(yè)提供*舒適的操作體驗(yàn)
光學(xué)系統(tǒng) | 無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) |
觀察筒 | 鉸鏈?zhǔn)秸袢ㄓ^察筒,0~35°仰角可調(diào);瞳距調(diào)節(jié):50mm~76mm;分光比雙目,三目=0:100或100:0 |
目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/25mm,視度可調(diào) 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/26.5mm,視度可調(diào) |
物鏡 | 明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡【5X、10X、20X、50X、100X】 |
轉(zhuǎn)換器 | 明暗場(chǎng)內(nèi)傾式6孔轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽 |
載物臺(tái) | 14X12英寸離合式機(jī),移動(dòng)行程:356mmX305mm機(jī)械平臺(tái),X、Y方向同軸調(diào)節(jié);帶反射用金屬載物臺(tái) |
鏡體 | 反射機(jī)架,低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。 內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng),帶電動(dòng)轉(zhuǎn)換器和電動(dòng)孔徑光闌切換按鈕。 |
照明系統(tǒng) | 明暗場(chǎng)反射照明器,帶電動(dòng)孔徑光闌,中心可調(diào);帶明暗場(chǎng)照明切換裝置;帶濾色片插槽與偏光附件插槽。 12V/100W鹵素?zé)羰?,預(yù)定中心;PHILIPS 7724鹵素?zé)?/span> |
攝像攝像附件 | 0.5X/0.65X/1XCTV,C接口,可調(diào)焦 |
偏光附件 | 起偏鏡插板,檢偏鏡插板 |
可選偏光附件 | 藍(lán)色、綠色、紅色、LBD干涉濾色片 |