• 緊湊的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)*小的占地空間
• 鏡臂部分和鏡體分開(kāi), 使高的樣品觀察成為可能
• 標(biāo)配158×158mm手動(dòng)移動(dòng)載物臺(tái)(*大可用于200mm晶圓檢查)
• 選配長(zhǎng)工作距離物鏡, 極大方便磁頭檢查
• 采用防靜電設(shè)計(jì)，極大方便磁頭檢查
• 提高系統(tǒng)靈活性和操作舒適性，滿(mǎn)足SEMI S2/S8標(biāo)準(zhǔn)
| 光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)） | ||
| 顯微鏡鏡體 | Z軸同軸粗微調(diào)調(diào)焦，載物臺(tái)行程范圍：32 mm（從焦面上行2 mm和下行30 mm） 行程相同：15 mm（配合透射光照明） Z軸微調(diào)焦每旋轉(zhuǎn)一周的行程0.1 mm（1個(gè)單位1 μm） 調(diào)焦機(jī)構(gòu)張力可調(diào) 有調(diào)焦上限位機(jī)構(gòu) | ||
| 照明系統(tǒng)
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| BX-KMA 明視場(chǎng)照明器 | BX-RLA2 明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)照明器 |
| 觀察方式轉(zhuǎn)換 | — | 明視場(chǎng)-暗視場(chǎng)滑塊轉(zhuǎn)換法 | |
| 可適用觀測(cè)模式 | ①明視場(chǎng)法 ②DIC微分干涉襯比法 ③偏振光照明法 | ①明視場(chǎng)法 ②暗視場(chǎng)法 ③DIC微分干涉襯比法 ④偏振光照明法 ⑤紅外光 | |
| 光源 | 6V30W瓦鹵素?zé)?/p> 燈座: U-LS30-4 變壓器: TL-4 | 12V100W瓦鹵素?zé)?/p> 燈座: U-LH100L-3 電源整合在MX51顯微鏡中 | |
| 透射照明 | 明視場(chǎng)MX-TILLK照明燈，配備光纖照明附件（MX-TILLK須與MX-SIC6R2配合使用） | ||
| 觀察鏡筒 | U-BI30-2 寬場(chǎng)雙目鏡筒， U-TR30-2 寬場(chǎng)三目鏡筒， U-ETR3 寬場(chǎng)正像三目鏡筒(F.N. 22)，U-SWTR 超寬場(chǎng)三目鏡筒，MX-SWETTR 超寬場(chǎng)正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5) | ||
| 物鏡換鏡轉(zhuǎn)盤(pán) | U-5RE-2, U-6RE U-D5BDRE, U-D6BDRE, U-P5BDRE (帶有微粉干涉襯比法棱鏡滑槽) | ||
| 載物臺(tái) | U-SIC4R2/SIC4L2同軸右/左手控制4英寸×4英寸載物臺(tái) MX-SIC6R2同軸右/左手控制6英寸×6英寸載物臺(tái) | ||
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