ST-21H方塊電阻測試儀
ST-21H方塊電阻測試儀是一種依照類似的國家標(biāo)準和美國A.S.T.M標(biāo)準,專門測量半導(dǎo)體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器,可用于測量一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(ITO透明氧化膜),金屬薄膜……等同類物質(zhì)的薄層電阻。
ST-21H方塊電阻測試儀以大規(guī)模集成電路為主要核心;用基準電源和運算放大器組成高精度穩(wěn)流源;帶回路有效正常指示電路;并配以大型LCD顯示讀數(shù),使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測量速度快、精度高的特點。
ST-21H方塊電阻測試儀特點
1、采用大規(guī)模集成電路作為儀器的主要部分,測量準確穩(wěn)定,低功耗;
2、以大屏幕LCD顯示讀數(shù),直觀清晰;
3、采用單個電池供電,帶電池欠壓指示;
4、體積≤175mm X90mm X42mm,重量≤300g;
5、特制之手握式探筆,球形探針、鍍金探針有效接觸被測材料及保護薄膜
6、探頭帶抗靜電模塊
ST-21H方塊電阻測試儀技術(shù)參數(shù)
測量范圍
按方塊電阻量值大小分為二個量程檔:
1.方塊電阻 1.00~1999.9Ω/□;
2.方塊電阻 10.0~19999Ω/□;
*小分辨率:0.1Ω/□
恒流源: 測量過程誤差:≤±0.8%
模數(shù)轉(zhuǎn)換器:
量程:0~199.99mv;
分辨率:10μv;
方式:LCD大屏幕顯示;極性,超量程均自動顯示;小數(shù)點同步顯示;
測量不確定度:在整個量程范圍內(nèi),測量不確定度≤5%
四探針探頭規(guī)格:間距:1mm、1.59mm、3.8mm;偏差≤2%;游移率≤0.3%;絕緣電阻≥500MΩ
電源:9V疊層電池1節(jié)
ST-21H方塊電阻測試儀可選配HP系列四探針探頭的型號及規(guī)格:
型號 (Model) | 曲率半徑 (Radius) | 壓力 (loads) | 探針間距 (spacing) | 探針排列 (Arrangement) |
HP-501 | 0.5mm | 100g | 3.8mm | 直線 |
HP-502 | 0.75mm | 100g | 3.8mm | 直線 |
HP-503 | 0.1mm | 150g | 1mm | 直線 |
HP-504 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 直線 |
ST-21H方塊電阻測試儀可選配SP-601型方型四探針探頭的型號及規(guī)格
型號 | 曲率半徑 | 壓力 | 探針間距 | 探針排列 |
SP-601 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 方形 |