AL120-12晶圓搬送機(jī)對(duì)應(yīng)可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。
人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),操作方便
- 可以自由設(shè)置的檢查模式,在設(shè)計(jì)上考慮了后道工程中的操作性,尤為重視設(shè)備的操作簡(jiǎn)便性。
- 分別對(duì)應(yīng)FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機(jī)型。
堅(jiān)固、可靠和安全傳送
- 延續(xù)了上一代機(jī)型的堅(jiān)固性、可靠性和安全性,能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。
- 薄片,Warped晶圓皆能安全搬送。
- 宏觀觀察位置的化和操作單元的集中排列,提高了設(shè)備的操作舒適性。
專用宏觀照明裝置
專用宏觀照明裝置
為異物、傷痕、膜斑、散焦的發(fā)現(xiàn)提供了理想的照明方式
高亮度金屬鹵化物光源與光纖照明的組合,實(shí)現(xiàn)了300 mm晶圓的冷光源全面照射。
高亮度金屬鹵化物光源與光纖照明的組合,實(shí)現(xiàn)了300 mm晶圓的冷光源全面照射。