技術指標
機組型號 | GWMS110/150 | GWMS600/300 | GWMS1200/600 | GWMS1600/1000 | |
主抽泵型號 | FF-100/110 | FF-160/620 | FF-200/1200 | FF-250/1600 | |
前級泵型號 | GWSP150 | GWSP300 | GWSP600 | GWSP1000 | |
抽速 | l/s | 110 | 600 | 1200 | 1600 |
l/min | 6.6*103 | 3.6*104 | 7.2*104 | 9.6*104 | |
m3/h | 3.9*102 | 2.2*103 | 4.3*103 | 5.8*103 | |
cfm | 2.3*102 | 1.3*103 | 2.5*103 | 3.4*103 | |
極限真空度 | Pa | ≤1.0*10-5 | ≤1.0*10-5 | ≤1.0*10-5 | ≤1.0*10-5 |
Torr | ≤7.5*10-7 | ≤7.5*10-7 | ≤7.5*10-7 | ≤75*10-7 | |
psi | ≤1.4*10-9 | ≤1.4*10-9 | ≤1.4*10-9 | ≤1.4*10-9 | |
噪音 | dB(A) | ≤63 | ≤63 | ≤63 | ≤63 |
啟動時間 | min | ≤3 | |||
進/排氣壓力 | MPa | 0.1/0.13 | |||
工作環(huán)境溫度 | ℃ | 5~40 | |||
冷卻方式 |
| 水冷或風冷 | |||
電源 |
| 三相380/220V/50Hz或單相220/50Hz | |||
進氣口方向 |
| 任意角度安裝 | 垂直安裝 | 垂直安裝 | 垂直安裝 |
進/排氣口尺寸 |
| CF100/KF16 | CF150/KF16 | CF200/KF16 | CF250/KF16*2 |
外形尺寸 | mm | 500*510*685 | 730*520*700 | 950*570*730 | 990*630*880 |