100方羅茨泵是一種無(wú)內(nèi)壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級(jí)泵。100方羅茨泵的 真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外,還取決于前級(jí)泵的 真空。為了提高泵的 真空度,可將羅茨泵串聯(lián)使用。100方羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi),再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),所以,在泵腔內(nèi)氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。 但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過(guò)排氣口邊緣,v0空間與排氣側(cè)相通時(shí),由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),氣體排出泵外。100方羅茨泵在泵腔內(nèi),有二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上,由傳動(dòng)比為1的一對(duì)齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋 動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,保持有 的間隙,可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。
100方羅茨泵的 大優(yōu)點(diǎn)是:在較低入口壓力時(shí)具有較高的抽氣速率,但它不能單獨(dú)使用, 有一臺(tái)前級(jí)真空泵串聯(lián)。待被抽系統(tǒng)中的壓力被前級(jí)真空泵抽到羅茨真空泵允許入口壓力時(shí),羅茨真空泵才能開始工作。并且在一般情況下,100方羅茨泵不允許高壓差時(shí)工作,否則將會(huì)過(guò)載和過(guò)熱而損壞,因此使用100方羅茨泵時(shí) 合理地選用前級(jí)真空泵,安裝 的保護(hù)設(shè)備。