美國ALICAT MW氣體質(zhì)量流量計(jì)/氣體質(zhì)量流量控制器
標(biāo)準(zhǔn)精度 (NIST可溯源): +/- (0.8% Rdg + 0.2% F.S)
高精度 (選配): +/- (0.4% Rdg + 0.2% F.S)
以上精度適用于所有預(yù)置氣體及通過氣體編輯器(COMPOSER™)生成的自定義氣體
典型質(zhì)量流量計(jì)響應(yīng)時(shí)間常數(shù): 5 毫秒 (超低流量下可能為10毫秒)
多種氣體標(biāo)定: 氣體選擇(Gas Select™)5.0版預(yù)置多達(dá)130種常用氣體，另內(nèi)置氣體編輯器(COMPOSER™)允許用戶自定義混合氣體
滿量程范圍: 0-0.5 sccm 至 0-4000 slpm
常規(guī)設(shè)備線性范圍: 0.5-99% F.S, 量程可調(diào)比 200:1
316L結(jié)構(gòu)設(shè)備線性范圍: 1-99% F.S, 量程可調(diào)比 100:1 (MS系列)
允許管路壓力: 145 psig (標(biāo)準(zhǔn)) / 50 psig (MW低壓損系列)
常規(guī)設(shè)備滿量程壓損: 1-9 psi, 取決于流量范圍
“Whisper” 低壓損系列(MW)滿量程壓損: 0.06-0.69 psi, 取決于流量范圍
標(biāo)準(zhǔn)通訊方式: RS-232數(shù)字通訊和0-5v模擬通訊
選配模擬通訊: 1-5v, 0-10v, 4-20 mA; 第二道模擬輸出信號可選
選配通訊協(xié)議: RS-485, Modbus RTU (基于RS-232或RS-485), PROFIBUS
通訊接口: 8針mini-DIN
選配通訊接口: 9針或15針D-sub接口, 可定制引腳分配
動態(tài)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度等過程參數(shù)
標(biāo)準(zhǔn)顯示屏: 2.1″ 單色LCD數(shù)字式觸摸顯示屏
選配顯示屏: 2.1″ 背光彩色TFT數(shù)字式觸摸顯示屏
有條件的終身質(zhì)保
對撞擊、潮濕環(huán)境、安裝方向等不敏感氣體選擇(Gas Select™)功能5.0兼容氣體列表 — 適用于所有艾里卡特質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器所有艾里卡特設(shè)備已將完整的NIST Ref Prop 9 系列氣體性能數(shù)據(jù)融入預(yù)置的130種兼容氣體列表，供用戶實(shí)時(shí)選擇、校準(zhǔn)。用戶可在預(yù)置的氣體列表范圍內(nèi)隨時(shí)切換氣體，并無需對設(shè)備進(jìn)行再校準(zhǔn)，所有預(yù)置氣體的校準(zhǔn)均具有設(shè)備應(yīng)有的NIST可溯源校準(zhǔn)精度。 (詳見各項(xiàng)產(chǎn)品規(guī)格參數(shù))氣體選擇(Gas Select™)功能5.0兼容氣體列表 — 適用于所有艾里卡特質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器
所有艾里卡特設(shè)備已將完整的NIST Ref Prop 9 系列氣體性能數(shù)據(jù)融入預(yù)置的130種兼容氣體列表，供用戶實(shí)時(shí)選擇、校準(zhǔn)。用戶可在預(yù)置的氣體列表范圍內(nèi)隨時(shí)切換氣體，并無需對設(shè)備進(jìn)行再校準(zhǔn)，所有預(yù)置氣體的校準(zhǔn)均具有設(shè)備應(yīng)有的NIST可溯源校準(zhǔn)精度。 (詳見各項(xiàng)產(chǎn)品規(guī)格參數(shù))
產(chǎn)品概述
Alicat的MS系列數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)可精確、快速測量腐蝕性氣體(如：NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度。MCS系列質(zhì)量流量控制器通過定制化的高速比例控制閥還可精確控制腐蝕性過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力。
MW系列質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器的核心部件是Alicat
的層流壓差技術(shù)，確保在大流量情況仍然是線性流動，從而
補(bǔ)償了工藝溫度和壓力變化對質(zhì)量流量及體積流量產(chǎn)生的影響。
所有Alicat質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat提供的用戶支持，包括技術(shù)咨詢、快捷的設(shè)備校準(zhǔn)服務(wù)和有條件的終身質(zhì)保。
MW系列質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器采用全不銹鋼結(jié)構(gòu)及彈性密封材料，內(nèi)置130/128種標(biāo)準(zhǔn)氣體供
選擇。集成式多功能數(shù)字顯示屏允許用戶通過顯示屏按鈕操作便可進(jìn)行氣體切換、設(shè)定值輸入及PID閥門
調(diào)節(jié)。MS/MCS系列設(shè)備支持標(biāo)準(zhǔn)的模擬通訊和RS-232數(shù)字通訊模式，另有各類定制化選項(xiàng)供特殊項(xiàng)目需求，如：用于危險(xiǎn)環(huán)境的ATEX(歐洲)1類2區(qū)和CSA(美國)1類2區(qū)認(rèn)證產(chǎn)品等。另有便攜式(MBS系列)質(zhì)量流量計(jì)可選。
產(chǎn)品應(yīng)用
Alicat的MS/MCS系列數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器為腐蝕性過程氣體應(yīng)用的，如：半導(dǎo)體行業(yè)等。多變量測量與控制、多種氣體標(biāo)定以及100:1量程可調(diào)比使得僅用單臺MS/MCS系列質(zhì)量流量控制器
便可取代多臺設(shè)備的功效?？蛇_(dá)0.4%的精度、0.2%重復(fù)性及不到100毫秒的控制響應(yīng)時(shí)間優(yōu)化了氣體控制過程。
MS/MCS質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器可測量與控制從0-0.5 sccm到0-3000 slpm的滿量程的任何流量。
Standard Compatible Gas List for M-Series Meters
MS 系列質(zhì)量流量計(jì)參數(shù)
0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 4000 slpm 滿量程
標(biāo)準(zhǔn)精度 (NIST可溯源): +/- (0.8% Rdg + 0.2% F.S)
高精度 (選配): +/- (0.4% Rdg + 0.2% F.S)
以上精度適用于所有預(yù)置氣體及通過氣體編輯器(COMPOSER™)生成的自定義氣體
典型質(zhì)量流量計(jì)響應(yīng)時(shí)間常數(shù): 5 毫秒 (超低流量下可能為10毫秒)
多種氣體標(biāo)定: 氣體選擇(Gas Select™)5.0版預(yù)置多達(dá)130種常用氣體，另內(nèi)置氣體編輯器(COMPOSER™)允許用戶自定義混合氣體
滿量程范圍: 0-0.5 sccm 至 0-4000 slpm
常規(guī)設(shè)備線性范圍: 0.5-99% F.S, 量程可調(diào)比 200:1
316L結(jié)構(gòu)設(shè)備線性范圍: 1-99% F.S, 量程可調(diào)比 100:1 (MS系列)
允許管路壓力: 145 psig (標(biāo)準(zhǔn)) / 50 psig (MW低壓損系列)
常規(guī)設(shè)備滿量程壓損: 1-9 psi, 取決于流量范圍
“Whisper” 低壓損系列(MW)滿量程壓損: 0.06-0.69 psi, 取決于流量范圍
標(biāo)準(zhǔn)通訊方式: RS-232數(shù)字通訊和0-5v模擬通訊
選配模擬通訊: 1-5v, 0-10v, 4-20 mA; 第二道模擬輸出信號可選
選配通訊協(xié)議: RS-485, Modbus RTU (基于RS-232或RS-485), PROFIBUS
通訊接口: 8針mini-DIN
選配通訊接口: 9針或15針D-sub接口, 可定制引腳分配
動態(tài)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度等過程參數(shù)
標(biāo)準(zhǔn)顯示屏: 2.1″ 單色LCD數(shù)字式觸摸顯示屏
選配顯示屏: 2.1″ 背光彩色TFT數(shù)字式觸摸顯示屏
有條件的終身質(zhì)保
對撞擊、潮濕環(huán)境、安裝方向等不敏感氣體選擇(Gas Select™)功能5.0兼容氣體列表 — 適用于所有艾里卡特質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器所有艾里卡特設(shè)備已將完整的NIST Ref Prop 9 系列氣體性能數(shù)據(jù)融入預(yù)置的130種兼容氣體列表，供用戶實(shí)時(shí)選擇、校準(zhǔn)。用戶可在預(yù)置的氣體列表范圍內(nèi)隨時(shí)切換氣體，并無需對設(shè)備進(jìn)行再校準(zhǔn)，所有預(yù)置氣體的校準(zhǔn)均具有設(shè)備應(yīng)有的NIST可溯源校準(zhǔn)精度。 (詳見各項(xiàng)產(chǎn)品規(guī)格參數(shù))氣體選擇(Gas Select™)功能5.0兼容氣體列表 — 適用于所有艾里卡特質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器
所有艾里卡特設(shè)備已將完整的NIST Ref Prop 9 系列氣體性能數(shù)據(jù)融入預(yù)置的130種兼容氣體列表，供用戶實(shí)時(shí)選擇、校準(zhǔn)。用戶可在預(yù)置的氣體列表范圍內(nèi)隨時(shí)切換氣體，并無需對設(shè)備進(jìn)行再校準(zhǔn)，所有預(yù)置氣體的校準(zhǔn)均具有設(shè)備應(yīng)有的NIST可溯源校準(zhǔn)精度。 (詳見各項(xiàng)產(chǎn)品規(guī)格參數(shù))
產(chǎn)品概述
Alicat的MS系列數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)可精確、快速測量腐蝕性氣體(如：NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度。MCS系列質(zhì)量流量控制器通過定制化的高速比例控制閥還可精確控制腐蝕性過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力。
MW系列質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器的核心部件是Alicat
的層流壓差技術(shù)，確保在大流量情況仍然是線性流動，從而
補(bǔ)償了工藝溫度和壓力變化對質(zhì)量流量及體積流量產(chǎn)生的影響。
所有Alicat質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat提供的用戶支持，包括技術(shù)咨詢、快捷的設(shè)備校準(zhǔn)服務(wù)和有條件的終身質(zhì)保。
MW系列質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器采用全不銹鋼結(jié)構(gòu)及彈性密封材料，內(nèi)置130/128種標(biāo)準(zhǔn)氣體供
選擇。集成式多功能數(shù)字顯示屏允許用戶通過顯示屏按鈕操作便可進(jìn)行氣體切換、設(shè)定值輸入及PID閥門
調(diào)節(jié)。MS/MCS系列設(shè)備支持標(biāo)準(zhǔn)的模擬通訊和RS-232數(shù)字通訊模式，另有各類定制化選項(xiàng)供特殊項(xiàng)目需求，如：用于危險(xiǎn)環(huán)境的ATEX(歐洲)1類2區(qū)和CSA(美國)1類2區(qū)認(rèn)證產(chǎn)品等。另有便攜式(MBS系列)質(zhì)量流量計(jì)可選。
產(chǎn)品應(yīng)用
Alicat的MS/MCS系列數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器為腐蝕性過程氣體應(yīng)用的，如：半導(dǎo)體行業(yè)等。多變量測量與控制、多種氣體標(biāo)定以及100:1量程可調(diào)比使得僅用單臺MS/MCS系列質(zhì)量流量控制器
便可取代多臺設(shè)備的功效?？蛇_(dá)0.4%的精度、0.2%重復(fù)性及不到100毫秒的控制響應(yīng)時(shí)間優(yōu)化了氣體控制過程。
MS/MCS質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器可測量與控制從0-0.5 sccm到0-3000 slpm的滿量程的任何流量。
Standard Compatible Gas List for M-Series Meters
MS 系列質(zhì)量流量計(jì)參數(shù)
0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 4000 slpm 滿量程
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