性能參數(shù)
大氣壓 | 70~106KPa |
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工作臺面中心振動靜位移µm(rms) | 0.6 |
主過濾器類別 | ULPA |
人員保護 | 6.89*100000 |
主過濾器效率 | 99.9995%@0.12μm |
下降氣流速度(m/s) | 0.30 |
流入氣流速度(m/s) | 0.58 |
外排風量(m3/h) | 360 |
電源參數(shù)
頻率 | 50±1Hz |
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耗電量
噪音
規(guī)格
工作室內表面材質 | SUS304 |
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重量(Kg) | 180 |
腳輪 | 有 |
柜內插座配置(防濺插座個數(shù)) | 1個 |
固定底腳 | 可調高度75mm,無裸露螺紋 |
功能參數(shù)
過濾器阻塞報警 | 有 |
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過濾器破損報警 | 有 |
前窗玻璃防紫外線 | 有 |