GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺結(jié)合在一起的產(chǎn)品,有自動控制的樣品臺,就可使等離子槍按設(shè)定程序?qū)悠繁砻孢M行更均勻涂覆和處理,保證處理樣品表面的*性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動的工作臺(帶有真空吸盤和控制盒)。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面,可處理的樣品有單晶片,光學元件和塑料等,也可在常壓下進行等離子增強氣相沉積。
技術(shù)參數(shù)
輸入電源 | 208 V- 240VAC, 50/60 Hz, < 1000W |
RF發(fā)生器 | - 輸出頻率:20-23kHz , 25KV
- 等離子槍頭:儀器中包括兩種等離子槍頭:圓形頭:10-12mm,矩形頭:15-18mm
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輸入氣體氣壓, 工作氣體 | - 40 PSI min.(0.055 Mpa)
- Air, N2, Ar, He 或混合氣體(不可通入易燃易爆氣體 )
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等離子體工作壓力 | 7- 10 PSI |
工作環(huán)境 | 溫度 < 42°C,濕度 ≤ 40℃RH |
樣品臺和控制柜 | - 配有可在X-Y軸移動的樣品臺,通過步進電機驅(qū)動,采用SBC控制盒控制
- 可手動調(diào)節(jié)樣品臺在Z軸方向上的移動距離
- 控制盒采用LCD顯示,可設(shè)置其等離子槍頭的掃描程序。
- 大掃描范圍:8" x 9"
- 一個直徑為4"的真空吸盤安裝在X-Y樣品臺上,可吸住直徑為6"的樣品。
- 配有一真空泵,可與真空吸盤相連接
- 整個系統(tǒng)安裝在一移動架上(600x600x 800Lmm)
- 可選:可選加熱樣品臺(高溫度可加熱到500℃),也可將設(shè)備放置在手套箱中操作。
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尺寸&重量 | - 處理樣品臺尺寸:560mm L x483mm W x 609mm H
- 等離子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H
- 控制盒尺寸:330mm L x 305mm W x 152mm H
- 重量:55kg
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質(zhì)保&質(zhì)量認證 | 一年質(zhì)保期,終生維護 CE認證 |