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Hprobe 晶圓級測試儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱北京普瑞億科科技有限公司
品牌
型號
所在地北京市
廠商性質(zhì)其他
更新時間2023/1/26 10:06:57
訪問次數(shù)380

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北京普瑞億科科技有限公司成立于2007年，是國內(nèi)的儀器設(shè)備、系統(tǒng)方案和咨詢服務(wù)提供商。普瑞億科參與過、和北京市科學技術(shù)委員會等發(fā)起的多個設(shè)備研發(fā)項目，具有突出的儀器研發(fā)、設(shè)計和生產(chǎn)能力，可以提供多種痕量和溫室氣體分析儀、光譜和質(zhì)譜同位素分析儀、室內(nèi)和室外土壤呼吸測量系統(tǒng)等，致力為生態(tài)環(huán)保、能源地質(zhì)、城市安全、農(nóng)林牧漁、水文水資源、醫(yī)療健康、半導體等行業(yè)客戶和研究機構(gòu)提供系統(tǒng)解決方案。普瑞億科是國內(nèi)較早提供高精度溫室氣體和同位素分析儀的制造商，針對 “雙碳”市場需求，在遵循MVS（Monitoring-監(jiān)測、Verification-核查、Support-支持）體系的前提下，為、科研院所、企事業(yè)單位及其它機構(gòu)提供“雙碳”行動有效性評估和碳核查所需的整套方案，包含監(jiān)測設(shè)備租售運維、碳核查核算支持、碳源匯科學評價、以及區(qū)域“碳中和”建議。針對碳氮水循環(huán)科學研究，普瑞億科提供一系列具有自主知識產(chǎn)權(quán)的科研級產(chǎn)品，包含不限于基于中紅外直接吸收光譜（MIRLASTM）技術(shù)的一系列高精度溫室氣體（CO CO2 CH4 N2O H2O）分析儀；多組分在線、分布式在線和便攜式原位土壤呼吸、群落光合、地上地下廓線測量系統(tǒng)，室內(nèi)全自動變溫培養(yǎng)土壤呼吸測量系統(tǒng)；基于TureTDR? 技術(shù)的分布式和便攜式土壤溫度、濕度和鹽度測量系統(tǒng)，以及COSMOS區(qū)域土壤含水量測量系統(tǒng)。相關(guān)產(chǎn)品在國內(nèi)外眾多科研院所、大專院校等單位，以及中國生態(tài)系統(tǒng)研究網(wǎng)絡(luò)（CERN）、中國森林生態(tài)系統(tǒng)定位研究網(wǎng)絡(luò)（CFERN）等網(wǎng)絡(luò)安裝運行，取得用戶的。普瑞億科注重產(chǎn)品應(yīng)用培訓和售前售后服務(wù)支持，投資逾千萬設(shè)立開放實驗室并取得CMA認證。開放實驗室主要從事新產(chǎn)品研發(fā)立項評估及后期驗證、測試方法探索及樣品分析檢測、售前售后技術(shù)拓展和支持、行業(yè)和地方標準修訂和制定等。公司設(shè)有專業(yè)的技術(shù)支持服務(wù)團隊，始終堅守“科學嚴謹、快速高效”的服務(wù)理念，為客戶提供7×24小時快速響應(yīng)和技術(shù)支持，協(xié)助客戶優(yōu)選科研工作中所需的優(yōu)質(zhì)硬件、探討科研方案設(shè)計、提供設(shè)備運維服務(wù)、分析科研數(shù)據(jù)等工作。穩(wěn)定的產(chǎn)品質(zhì)量與高效的服務(wù)支持獲得諸多客戶的信賴，真正做到了“Science to Solutions”。立足現(xiàn)在、著眼未來，公司始終奉行“誠信服務(wù)、質(zhì)量優(yōu)先、真誠合作、共同發(fā)展”的企業(yè)宗旨，秉承服務(wù)程序更簡單、更靈活、更機動、響應(yīng)速度更快的經(jīng)營理念，積極為客戶提供更安全、更優(yōu)質(zhì)、更可靠、更高效、更高性價比的解決方案和*產(chǎn)品，讓更多的用戶獲益于*儀器設(shè)備帶來的優(yōu)異成果。

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質(zhì)譜分析儀

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Hprobe測試儀是磁場下晶圓級表征及測試的工具

Hprobe 晶圓級測試儀產(chǎn)品信息

Hprobe 測試儀是磁場下晶圓級表征及測試的工具。它采用自主研發(fā)的3D磁場發(fā)生器和*的、可定制的、商業(yè)化硬件，為傳感器到MRAM等磁性器件，提供完整的測試解決方案，該工具符合晶圓自動化測試的標準。

主要特點

大范圍面內(nèi)和垂直場
磁場三維可控
旋轉(zhuǎn)磁場
嵌入式傳感器校準 ( Hall 傳感器 )
自動化測試程序
MRAM 參數(shù)提取軟件
100mm~300mm 晶圓可測
兼容標準探針卡

技術(shù)說明

磁性3D發(fā)生器
Hprobe 測試儀采用自主研發(fā)的3D磁場發(fā)生器，其中每個磁場的空間軸都是獨立驅(qū)動。通過控制3個軸的磁場，用戶可實現(xiàn)任意方向磁場，同時也可產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)磁場。發(fā)生器提供所有的控制儀器、控制程序和校準工具。
3D磁性發(fā)生器位于探測器上，在晶圓上生成局部磁場，探針位于磁場發(fā)生器與晶圓之間。發(fā) 生器和探測器卡盤之間的標準z軸間距為 1mm，500µm 到 5mm 內(nèi)可調(diào)。

校準
測試儀并沒有為所有可能的磁性配置提供詳盡的標準數(shù)據(jù)表。但用戶能夠自定義額外定制磁場類型，校準相應(yīng)的線圈電流以產(chǎn)生需要的場類型。
校準包括：
§ 將理論磁場應(yīng)用于待測器件
§ 沿三軸測量感興趣區(qū)域內(nèi)的磁場測量數(shù)據(jù)用于補償和調(diào)整在晶圓測試期間施加的磁場。
校準測量用嵌入在探測器內(nèi)的3D霍爾傳感器完成。

3D 校準傳感器特征
§ 角精度高
§ 靈敏度5V /特斯拉
§ 測量范圍2特斯拉
§ 差分輸出
§ 溫度靈敏度：<100 ppm/°
§ 在探頭上集成溫度傳感器用于溫度補償

晶圓探測器
Hprobe 測試儀是由工業(yè)標準的晶圓探測器構(gòu)成，囊括100mm手動探測器至300mm全自動，適于生產(chǎn)的探測器。探測器通常包括：
§ 溫控卡盤（熱/冷）
§ 探針卡定位可視化操作
§ 晶圓裝填器
§ 單一晶圓承載器
§ 嵌入式校準傳感器
§ 破碎晶圓承載器（可選）

其他特定的HW/SW探針選項可根據(jù)客戶要求定制。
探測器控制是通過我們的測試程序驅(qū)動的，針對探測器功能提供的用戶訪問權(quán)限。

儀器
Hprobe測試儀提供全套儀器來驅(qū)動和測量大多數(shù)磁性器件，比如 MRAM（STT，SOT，電壓控制），傳感器（AMR，GMR，TMR）和磁性MEMS。

預定義的儀器包括批量生產(chǎn)的源表（SMU），數(shù)字萬用表（DMM），任意波形發(fā)生器（AWG）和脈沖發(fā)生器。其他儀器可根據(jù)要求提供，并且可以輕松地集成在該工具的硬件和軟件中。

源測量單元 (S M U )
§ 最小測量范圍 20mV
§ 最小量程 1nA
§ > 3,000 讀數(shù)/秒
§ 白噪聲 2mV rms

數(shù)字萬用表（ DM M ）
§ 18位，最小測量范圍 100mV
§ 分辨率 10nV
§ 最小記錄時間 1µs

任意波形發(fā)生器（ AW G ）
§ 雙通道，帶寬 40MHz
§ 正弦波，方波與脈沖高達 30MHz
§ 斜率 & 三角波達 200kHz
§ 每個通道的任意波形 < 1Msample
§ 采樣率 250Msample/秒

脈沖發(fā)生器
§ 最小脈沖寬度 300 ps
§ 脈寬精度 10 ps
§ 上升/下降時間 < 70 ps (20%-80%)
§ 輸出幅度 10 mVpp~5 Vpp
§ 重復率 500 MHz/每通道
§ 觸發(fā)到輸出晃動 < 35ps RMS

探針
Hprobe測試儀易拓展，用戶可使用工業(yè)用探針，也可以使用裝有DC和RF探針的顯微操縱器。的限制是磁場發(fā)生器和晶片之間的間隔在高磁場下必須保持盡可能的（<1mm）。

測試程序
測試程序包括用于滿足用戶需求的所有功能，從材料表征到產(chǎn)品開發(fā)，到生產(chǎn)轉(zhuǎn)化。它以三種模式運行：
§ 校準 - 設(shè)置磁場的配置和創(chuàng)建用戶定義模式 (見下圖)
§ 工程 - 運行預先實施的測試模式或創(chuàng)建并運行完整的自定義特性描述和測試程序。
§ 生產(chǎn) - 從工程模式中利用優(yōu)化時間來設(shè)置測試程序。

預先實施的測試模式包括（有或者無磁場）：
§ 開放/短期測試
§ 交流/直流電流-電壓，R-V 測試
§ 交流/直流擊穿電壓測試
§ 讀/寫脈沖測試
§ 隧道磁阻
§ 誤碼率
§ 器件循環(huán)測試
§ （I，V，H）相圖

生產(chǎn)廠家：法國 Hprobe

關(guān)鍵詞：傳感器