GSL-1100X-8.5-S 是一款爐管外徑為 8.5" 的真空管式爐 , 它可以在6“的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下). 該爐的工作溫度為 1100°C, 采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器,溫控精度: ±1°C。
技術參數(shù) 爐體結構 | |
工作電壓 | AC 220V |
功率 | 8KW |
爐管規(guī)格 | - 8.5" O.D x 8.2" I.Dx 40" 長
- 標配內包含一只石英管, 多余的管子可單獨訂購
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加熱元件 | NiCrAl 電阻絲 |
工作溫度 | -
極限溫度: 1100°C -
工作溫度: 400 -1000°C -
升降溫速率: 10°C/min(max) |
加熱區(qū) | |
控溫儀 | -
采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器 -
設有一個額外的溫度校準檢測系統(tǒng) - 雙K型熱電偶測溫.
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溫控精度: ±1°C -
軟件接口、模塊和PC機不在標配內需額外訂購 可選: PC接口和軟件 |
密封法蘭和進氣接口 | -
不銹鋼真空密封法蘭雙硅膠密封圈密封真空度可達到 (機械泵:10-2 torr、分子泵:10-4 torr). 真空泵不包含在內 右端法蘭上設有一個鎧裝熱偶檢測口和KF40真空接口. ( 如需對爐膛溫度進行校準請訂購36" 長 x 1/4"dia K 型熱電偶) > 包括兩個高純氧化鋁或石英管堵,設備使用時右端必須安裝管堵阻止熱的輻射, > /> >>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>> - Φ8"石英管堵
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產(chǎn)品尺寸 | - 爐體: 1000L x 680W x 920 H mm
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凈重 | 250Kg |
保修期 | 整機保修一年,相關耗材除外。(如密封圈、爐管等) |
Certificate | |
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