Ultrapure-100包括充沛的光電系統(tǒng)、計(jì)數(shù)和通訊電路、一個(gè)的流速控制系統(tǒng),所有的都集成在一起能滿足各種應(yīng)用。例如在DI water制造廠內(nèi)監(jiān)控,整個(gè)系統(tǒng)的流速超過(guò)of 1.0 L/min,這樣結(jié)果就有非??斓那逑?,恢復(fù)時(shí)間及精確的流速,甚至于動(dòng)態(tài)的入口壓力.
美國(guó)哈希Anatel Ultrapure-100超純水顆粒檢測(cè)儀是一個(gè)近似于的系統(tǒng),特別易于安裝或集成到現(xiàn)在系統(tǒng)中。如FMS(facility monitoring system )或 BMS(building management system)。也可以選擇作為一個(gè)獨(dú)立的測(cè)試儀器,還有許多可用的兼容配套軟件。
美國(guó)哈希Anatel Ultrapure-100超純水顆粒檢測(cè)儀特點(diǎn):
0.1和0.2μm的標(biāo)準(zhǔn)顆粒尺寸,可在0.1和5.0μm范圍內(nèi)定制
的流量控制和動(dòng)態(tài)的入口壓力調(diào)節(jié)具備極快的清潔和恢復(fù)時(shí)間
高流速保證了快速的清洗時(shí)間
優(yōu)秀的流量調(diào)節(jié),一體化設(shè)計(jì)保證了低維護(hù)量
激光能量診斷,顆粒計(jì)數(shù)軟件和的可追溯NIST標(biāo)準(zhǔn)4-20mA輸出
應(yīng)用:
電子半導(dǎo)體制造超純水系統(tǒng)顆粒計(jì)數(shù)檢測(cè)
性能:
測(cè)量粒徑尺寸(μm):0.1,0.2 系統(tǒng)流速>1L/min
樣品流速 10ml/min, 樣品壓力設(shè)置30-100psig
光源采用激光二極管