產(chǎn)品用途:該系列電爐系周期作業(yè),供企業(yè)實(shí)驗(yàn)室、大專院校、科研院所等單位選用。設(shè)備為用戶提供具有真空、可控氣氛及高溫的實(shí)驗(yàn)環(huán)境,應(yīng)用在半導(dǎo)體、電子陶瓷產(chǎn)品、納米技術(shù)、碳纖維、高溫?zé)峤獾蜏爻恋恚–VD)、鍍膜等新型材料新工藝領(lǐng)域。
一、操作便捷性:
1、1600℃真空管式電爐|氣氛管式電爐|管式電爐,氣路連接方式采用了快速連接法蘭結(jié)構(gòu)。
2、使取放物料過程簡(jiǎn)化,只需一支卡箍便可完成氣路連接,方便操作。
3、取消了復(fù)雜的法蘭安裝過程,減少了爐管因安裝造成損壞的可能。
二、結(jié)構(gòu)實(shí)用性:
1、爐膛采用優(yōu)質(zhì)的多晶莫來纖維真空吸附制成,節(jié)能50%,溫場(chǎng)均勻。電熱元件采用表面溫度1700度的優(yōu)質(zhì)硅鉬棒。
2、密封法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù),有效的提高了爐管兩端的氣密性。氣路具有進(jìn)出氣微量可調(diào)功能。
3、兩端氣路支架,支撐著氣路裝置。有效消除了氣路總成自身的應(yīng)力,杜絕了因自身應(yīng)力而造成的爐管損壞。
4、*的空氣隔熱技術(shù),結(jié)合熱感應(yīng)技術(shù),當(dāng)爐體表面溫升到達(dá)50℃時(shí),排溫風(fēng)扇將自動(dòng)啟動(dòng),使?fàn)t體表面快速降溫。真空氣氛 旋轉(zhuǎn)電爐 立式管爐 快速退火爐 馬佛爐
三、使用安全性:采用了:
1、超溫保護(hù)功能,當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值后,自動(dòng)斷電及報(bào)警。
2、漏電保護(hù)功能,當(dāng)爐體漏電時(shí)自動(dòng)斷電。以上功能確保了使用的安全性。
四、控制智能化:
1、電爐溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、模糊控制、自整定功能,并可編制各種升降溫程序。真空氣氛 旋轉(zhuǎn)電爐 立式管爐 快
2、國(guó)產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控溫,進(jìn)口程序控溫系統(tǒng)可編輯40 段程序控溫。
3、電爐內(nèi)配置有485轉(zhuǎn)換接口,可實(shí)現(xiàn)與計(jì)算機(jī)相互連接。通過專用的計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)來完成與單臺(tái)或多達(dá)200臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能。
五、周邊拓展性該電爐可配置:
1、真空控制系統(tǒng)。通過各種真空控制系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)樣品在低、中、高真空環(huán)境下進(jìn)行試驗(yàn)。
2、氣體流量控制系統(tǒng)。通過浮子或質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)進(jìn)氣量,以滿足用戶在不同反應(yīng)氣氛或保護(hù)氣氛條件下的實(shí)驗(yàn)要求。
六、設(shè)計(jì)性:
該設(shè)備為產(chǎn)品,具有多項(xiàng)獨(dú)立自主的知識(shí)產(chǎn)權(quán)。外觀美觀,結(jié)構(gòu)合理,使用方便。
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 1600℃雙/多溫區(qū)真空氣氛管式電爐 | |||
國(guó)產(chǎn)程序 | SK-G06163-2 | SK-G08163-2 | SK-G06163-3 | SK-G08163-3 |
溫區(qū) | 雙溫區(qū) | 三溫區(qū) | ||
溫度 | 1600℃ | |||
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 600mm | 600mm | ||
恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 300mm | 420mm | ||
加熱元件 | 硅鉬棒 | |||
空爐升溫時(shí)間 | <40min | |||
額定功率 | 8Kw | 8Kw | 8Kw | |
工作電壓 | 380V+中線 | |||
溫度控制 | 國(guó)產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控制;進(jìn)口程序控溫系統(tǒng)可編輯40段程序控制(選配); | |||
控溫精度 | ±1℃ | |||
剛玉管尺寸 | Φ60/50x1200mm | Φ80/70x1200mm | Φ60/50x1200mm | Φ80/70x1500mm |
爐管材料 | 剛玉管 | |||
溫區(qū)溫差 | 兩個(gè)溫區(qū)溫差應(yīng)<400℃ | |||
爐管工作溫度 | 1600℃ | |||
配置爐管時(shí)升溫速度 | 500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min; 1000-1400℃≤3℃/min;1400-1600℃≤2℃/min | |||
外形尺寸(深x寬x高) | 530x835x1425mm |
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重量 | 280Kg | 320Kg | 340Kg | |
標(biāo)準(zhǔn)配置 | 氣路總成一套(含真空壓力表),剛玉管一支,剛玉堵四個(gè),剛玉舟一個(gè),鉤子一把,高溫手套一副 | |||
真空/氣氛總成配套(可選) | 真空控制系統(tǒng): 中真空控制系統(tǒng)、高真空控制系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng); | |||
氣路控制系統(tǒng):氣體浮子流量控制系統(tǒng)、氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng); | ||||
計(jì)算機(jī)集散控制系統(tǒng); CVD電爐系統(tǒng); |