SFP-QV表面塵埃粒子計(jì)數(shù)器
Surface Particle QV 表面塵埃粒子計(jì)數(shù)器用于測(cè)量各種高潔凈度要求的產(chǎn)品，光學(xué)鏡片組件、液晶面板及超凈微環(huán)境受控的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)等表面所附著的塵埃粒子的粒徑大小及單位面積內(nèi)的數(shù)量。
本儀器的核心零部件（光學(xué)傳感器）及控制器等采用美國萊特浩斯所生產(chǎn)的組件來保證該產(chǎn)品的測(cè)量精度。
本儀器外殼采用SUS316L不銹鋼制作，并經(jīng)表面鈍化處理。彩色觸摸液晶屏顯示操作，檢測(cè)光學(xué)傳感器采用美國進(jìn)口整機(jī)，吸氣的氣泵為旋片式進(jìn)口氣泵，并可通過流量傳感器來自動(dòng)調(diào)節(jié)氣泵的運(yùn)行流量，使其保持在一個(gè)穩(wěn)定的檢測(cè)流量范圍內(nèi)，表面測(cè)試探頭根據(jù)德國同類產(chǎn)品進(jìn)行改良優(yōu)良，并配有防靜電軟管與主機(jī)連接，其于用排氣及吸氣過濾的囊式過濾器。內(nèi)部濾材為德國進(jìn)口，從而保證儀器的檢測(cè)精度及運(yùn)行穩(wěn)定性。
表面粒子計(jì)數(shù)器由三部分組成：
掃描取樣頭：取樣的同時(shí)可以提供一定壓力的吹掃氣流，可以集成操作控制器；
激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器主機(jī)：主要由氣泵、傳感器、主控板、過濾器以及電池組成；
連接主機(jī)與掃描采樣頭的管道：包括取樣管道與吹掃管道。
主要技術(shù)參數(shù)
| 檢測(cè)精度 | 0.3μm（0.1μm可定制） |
| 檢測(cè)通度 | 0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0、7.0、10.0μm八通道 （可定制：0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0μm） |
| 計(jì)數(shù)效率 | 0.3μm 50%±20%（粒徑通道） 0.5μm 99%±10%（第二粒徑通道） |
| 采樣流量 | 28.3L/min ±5%，可通過觸摸屏控制自行調(diào)整 |
| 采樣時(shí)間 | 0～24h |
| 重復(fù)性 | 相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差≤10% |
| 粒徑準(zhǔn)確度 | 相對(duì)誤差≤10% |
| 自凈時(shí)間 | ≤10 min |
| 光源 | 激光二極管，經(jīng)過特殊工藝優(yōu)化理論壽命為20年（MTT）或壽命大于40000小時(shí) |
| 顯示方式 | 觸摸顯示屏 |
| 允許采樣濃度 | 35000顆/L(塵埃顆粒粒徑不小于0.3um)，采樣空氣中不得含酸堿等腐蝕性氣體 |
| 外形尺寸 | 260mm×260mm×260mm |
| 重量 | 7.5kg |
| 功耗 | 35W |
| 電源 | 16.8V內(nèi)置鋰電池/DC16-24V外部寬電壓供電 |
| 粒徑通道 | 0.3um、0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um |
| 采樣周期 | 3s、6s |
| 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) | 5000組 |
| 表面材質(zhì) | SUS316L |
| 連續(xù)工作時(shí)間 | 8小時(shí) |
| 使用環(huán)境條件 | 溫度：10-35℃ 濕度：20-75RH 大氣壓：86-106kPa |
| 零計(jì)數(shù) | ≤10分鐘內(nèi)連續(xù)3分鐘為0 |
| 執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn) | ISO/FDIS 21501-4:2018、GB/T 6167-2007、JJF 1190-2008 |
| 采樣口徑 | 1/4”Flaretek™ |
| 采樣溫度 | 32-302°F（0-150℃） |
| 操作界面 | 彩色觸摸屏控制便于操作和設(shè)定，能同時(shí)顯示6個(gè)通道的數(shù)據(jù)，分辨率320×240，屏幕數(shù)據(jù)縮放功能 |
| 輸出方式 | 內(nèi)置熱敏打印機(jī)或485協(xié)議 |
| 電源 | AC100～240V 50～60HZ |
| 語言 | 中、英、德、日等多國語言 |
| 保修 | 兩年（儀器自身質(zhì)量） |
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