日本MSA 高溫爐 硅片加熱爐
主要應(yīng)用。
用于加熱大型基材和玻璃的升降機(jī)，帶蓋熱板PA-LIF系列，晶圓加熱（RP系列），材料表面研究和評(píng)估，無(wú)機(jī)材料熱處理，耐熱性評(píng)估，烘烤等。RP系列有雙面加熱和石英鐘罩的選項(xiàng)，可以用于材料的氣體置換。 RP系列也可用于氣體置換和材料的加熱。
MSA工廠加熱知識(shí)
各種技術(shù)訣竅集中在材料（超級(jí)耐熱板、熱變形對(duì)策、鈦合金底盤(pán)）、加熱器設(shè)計(jì)、絕緣、熱輻射等方面。
高性能和多功能性
可提供定制的附加功能，例如用于加熱和運(yùn)輸大型板材的升降機(jī)功能（垂直板材驅(qū)動(dòng)），以及處理加熱過(guò)程中板材變形的真空吸盤(pán)功能。
安全功能
該控制器配備了安全功能，包括超溫監(jiān)測(cè)功能、緊急停止功能、泄漏檢測(cè)功能和負(fù)載斷開(kāi)功能。
溫度控制范圍：室溫至1000℃ 溫度分布：±3%或更少（在加熱區(qū)域內(nèi)）
尺寸：RP-10080-4（用于4英寸），-6（用于6英寸），-8（用于8英寸）。
選項(xiàng)：石英鐘罩、質(zhì)量流量等，其他定制。
特點(diǎn)
超高溫（MAX 1000°C）硅片加熱爐 - 平行板式，用于均勻加熱 - 氣體吹掃功能（惰性氣體N2，Ar）。
控制器上標(biāo)配的數(shù)字流量計(jì) 50 L/min (設(shè)置單位0.1 L/min)
氧氣兼容的質(zhì)量流量型選項(xiàng) - 兩個(gè)控制器（用于上、下層熱板），具有溫度程序功能
石英鐘罩（氣體吹掃功能）選項(xiàng)
日本MSA 高溫爐 硅片加熱爐
| 型號(hào) | PA2560-LIF | PA4060-LIF | PA8020-LIF | RP10020 |
| 最高溫度 | 250℃ | 400℃ | 800℃ | 1000℃ |
| 尺寸 | 600×600mm | 600×600mm | 220×220mm | 220×220mm |
| 板材材料 | 鋁合金 | 超耐熱合金 | ||
| 電源電壓 | AC200V | |||
| 可選 | 電動(dòng)升降機(jī)，真空吸能器 | 電動(dòng)升降機(jī)， 真空吸附， 電動(dòng)傳送面 快門(mén)、 | 電動(dòng)升降機(jī) | 雙面加熱功能 |
| 特點(diǎn) | 帶手動(dòng)絕熱罩，其他可通過(guò)自動(dòng)操作進(jìn)行處理 | 輸送部分，側(cè)向卸貨 轉(zhuǎn)移機(jī)器人 支持的類(lèi)型 | 高達(dá)800℃的超高溫 | 達(dá)到超高溫1000℃ 對(duì)應(yīng)石英玻璃 惰性氣氛下的加熱 |
| 溫度 控制器 | PCC118-LIF-TP、觸摸面板 監(jiān)視器臂式 | PCC118-LIF-TP | PCC118-LIF－TP | PCC118-W-TP |
采購(gòu)中心
