一、概述
DZG200工業(yè)檢測顯微鏡適用于對工件表面的組織結(jié)構(gòu)與幾何形態(tài)進行顯微觀察。采用優(yōu)良的無限遠光學(xué)系統(tǒng)與模塊化功能設(shè)計理念，可以方便升級系統(tǒng)，實現(xiàn)偏光觀察、微分干涉觀察等功能，導(dǎo)柱升降裝置，可以快速調(diào)整工作臺與物鏡之間的距離，適用于不同厚度工件檢測。調(diào)焦機構(gòu)采用圓柱滾子導(dǎo)向傳動，機構(gòu)升降平穩(wěn)。產(chǎn)品適用于精密零件，集成電路，包裝材料等產(chǎn)品檢測。
二、主要技術(shù)參數(shù)：
基 座 | 花崗巖立柱，穩(wěn)定性好，不會隨時間溫差而變形 |
立柱 | 花崗巖立柱，穩(wěn)定性好，不會隨時間溫差而變形 |
光學(xué)系統(tǒng) | 具有諧波分量的無限遠光學(xué)系統(tǒng) |
目 鏡 | 10X大視野廣角目鏡，視場數(shù)Ф22mm |
無限遠平場雙覆膜消色差物鏡 | 5X/0.12,工作距離8.4mm |
10X/0.25,工作距離9.3mm | |
20X/0.4,工作距離7.2mm | |
50X/0.7,工作距離2.5mm | |
目鏡筒 | 正像觀察，雙目瞳距調(diào)節(jié)范圍：53~75mm，可100％推拉攝影 |
調(diào)焦機構(gòu) | 手動粗微動同軸調(diào)焦, *小微動格值:0.002mm,粗動松緊可調(diào),有效調(diào)焦范圍0～8mm,軸向平面內(nèi)的垂直度不大于0.05mm。 |
轉(zhuǎn)換器 | 五孔明場轉(zhuǎn)換器（螺紋規(guī)格：M26X0.705） |
工作平臺 | 花崗巖平臺 |
*大有效移動范圍：200mmX100mm | |
縱橫向移動垂直度（3+L/200）μm | |
玻璃工作臺面與縱橫向移動平面的平行度在有效觀察范圍內(nèi)不大于3μm(無負載測量) | |
*大承載重量不大于10千克 | |
導(dǎo)軌 | 線型防錯位精密導(dǎo)軌 |
絲桿 | 精密光桿 |
光柵尺 | 高精密（鑲?cè)胧剑┕鈻?/span> |
數(shù)據(jù)處理器 | 高清視頻采集系統(tǒng) |
數(shù)據(jù)處理器，可與計算機并行連接，同步光柵信號輸出 | |
工作電壓：220V 50/60HZ | |
照明裝置 | 落射照明采用12V50W鹵素?zé)?，亮度及中心位置可調(diào) |
落射照明器內(nèi)置孔徑光闌、視場光闌、濾色片轉(zhuǎn)換裝置、微分干涉切換裝置，偏光觀察裝置 | |
透射照明采用高亮度白光LED燈，亮度可調(diào) |
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