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高海拔氣候試驗(yàn)艙

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱天津偉思實(shí)驗(yàn)儀器科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號WS-RZK-3200W
  • 所  在  地天津市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2023/11/20 17:16:23
  • 訪問次數(shù)207
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天津偉思實(shí)驗(yàn)儀器科技有限公司,是一家以科技創(chuàng)新為戰(zhàn)略、以客戶需求為導(dǎo)向的現(xiàn)代*型

企業(yè)。

公司成立初期主要以鈑金加工和冷庫工程為主業(yè),2014年5月公司看到北方市場的巨大潛力為了更好

的服務(wù)北方客戶,公司決定在北方工業(yè)城市天津建廠命名為天津偉思實(shí)驗(yàn)儀器科技有限公司。

我們始終秉承以質(zhì)量為生命的發(fā)展理念,也是國內(nèi)較早生產(chǎn)可靠性環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備廠家之一,核心團(tuán)隊(duì)均

來自偉思富琪、ACS、環(huán)測、熱測、愛斯佩克 等一線儀器品牌,都有數(shù)十年的環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備專業(yè)生

產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。同時公司不斷向試驗(yàn)儀器公司學(xué)習(xí),先后引進(jìn)多項(xiàng)技術(shù),成功研制并生產(chǎn)多項(xiàng)產(chǎn)品,產(chǎn)品

一上市就贏得客戶的好評。歷經(jīng)數(shù)年我們公司現(xiàn)已擁有了一定的技術(shù)實(shí)力和專業(yè)高效的團(tuán)隊(duì),同時我們

不斷高薪聘請行業(yè)優(yōu)秀技術(shù)人才,為偉思實(shí)驗(yàn)儀器走向世界打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

偉思實(shí)驗(yàn)儀器科技公司的產(chǎn)品主要分為三大類,1、環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備 2、可靠性試驗(yàn)設(shè)備 3、力學(xué)試驗(yàn)

設(shè)備。公司的主要產(chǎn)品包括:恒溫恒濕試驗(yàn)箱、步入式恒溫恒濕試驗(yàn)室、高低溫試驗(yàn)箱、真空高低溫試

驗(yàn)機(jī)、快速溫變高低溫試驗(yàn)機(jī)、冷熱沖擊試驗(yàn)箱、溫濕振三綜合試驗(yàn)機(jī)、高低溫低壓試驗(yàn)機(jī)、鹽霧試驗(yàn)

箱、鹽干濕復(fù)合鹽霧試驗(yàn)機(jī)、二氧化硫試驗(yàn)機(jī)、老化試驗(yàn)箱、干燥箱、真空干燥箱、拉力試驗(yàn)機(jī)、高低

溫拉力試驗(yàn)機(jī)、紫外線耐氣候試驗(yàn)機(jī)、氙燈耐氣候試驗(yàn)機(jī)、臭氧老化試驗(yàn)機(jī)、淋雨試驗(yàn)機(jī)、沙塵試驗(yàn)機(jī)

、振動等品質(zhì)檢測儀器數(shù)十個系列近百種產(chǎn)品。

偉思實(shí)驗(yàn)儀器科技產(chǎn)品通過專業(yè)檢測機(jī)構(gòu)認(rèn)證,國家計(jì)量檢測中心認(rèn)證,產(chǎn)品廣泛用于科研﹑高校

﹑汽車、船舶、電子﹑LED、橡膠、塑料、電工﹑玩具、通信、電纜、涂料、化工等各種行業(yè)。公司依托

自身的人才、技術(shù)、資金優(yōu)勢,為科研﹑高校、航空﹑航天、*﹑汽車、船舶、電子﹑LED、橡膠、塑

料、電工﹑玩具、通信、電纜、涂料、化工等企事業(yè)單位提供符合GB、GJB、IEC、MIL、DIN等標(biāo)準(zhǔn)的各

類實(shí)驗(yàn)檢測儀器設(shè)備。

偉思實(shí)驗(yàn)儀器科技有限公司,憑借雄厚的技術(shù)實(shí)力和不斷創(chuàng)新的進(jìn)取精神,充滿活力的專業(yè)團(tuán)隊(duì),

*的制造工藝以及創(chuàng)新研發(fā)思路,在現(xiàn)代化、標(biāo)準(zhǔn)化、專業(yè)化的品質(zhì)政策下,我們將努力打造成

為世界專業(yè)的實(shí)驗(yàn)設(shè)備供應(yīng)商,立志成為世界檢測儀器行業(yè)的提供者。

六自由度振動臺,氣體腐蝕試驗(yàn)箱,晶間腐蝕試驗(yàn)箱,風(fēng)壓試驗(yàn)機(jī),焓差實(shí)驗(yàn)室,疲勞試驗(yàn)機(jī)
一、設(shè)備的用途及特點(diǎn):  1.用于開展各類空間裝備的熱平衡試驗(yàn)和熱真空試驗(yàn)
高海拔氣候試驗(yàn)艙 產(chǎn)品信息

  一、設(shè)備的用途及特點(diǎn):

  1.用于開展各類空間裝備的熱平衡試驗(yàn)和熱真空試驗(yàn)。

  2.基本要求

  3.高海拔氣候試驗(yàn)設(shè)備生產(chǎn)廠商有較高的設(shè)計(jì)、制造能力,國內(nèi)品牌;

  4.滿足標(biāo)準(zhǔn):

  QJ 20127 航天器空間熱環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備技術(shù)要求;

  GJB 1033 航天器熱平衡試驗(yàn)方法;

  GJB 1027 運(yùn)載器、上面級和航天器試驗(yàn)要求;

  GJB 2209 地球同步軌道衛(wèi)星轉(zhuǎn)發(fā)器規(guī)范;

  GJB 2042 衛(wèi)星電源系統(tǒng)規(guī)范;

  QJ 1446 衛(wèi)星熱真空試驗(yàn)方法。

  5.應(yīng)提供優(yōu)良的售后服務(wù)和質(zhì)量保證,自驗(yàn)收合格之日起,整機(jī)質(zhì)保3年。

  該設(shè)備主要用在高真空狀態(tài)下的高低溫試驗(yàn)、低氣壓放電試驗(yàn),也可作為其他小部件在軌的模擬試驗(yàn)設(shè)備。

  6.此技術(shù)方案是根據(jù)**中心熱真空試驗(yàn)設(shè)備(機(jī)械制冷)技術(shù)要求而編寫的。此技術(shù)方案是設(shè)計(jì)制造該設(shè)備的依據(jù)之一。此套設(shè)備包括五個方面:熱真空模擬容器、真空保障系統(tǒng)、高低溫保障系統(tǒng)、熱真空狀態(tài)控制與顯示系統(tǒng)、輔助配套系統(tǒng)。根據(jù)此技術(shù)方案研制出的設(shè)備能夠真實(shí)地模擬真空空間的冷熱環(huán)境,并能對空間的真空度及溫度進(jìn)行有效的控制、監(jiān)測和記錄。設(shè)備有以下的一些特點(diǎn)。

  7.整套設(shè)備真空系統(tǒng)采用低溫泵為主泵,螺桿干泵做前級和預(yù)抽泵,可以獲得無油試驗(yàn)要求的工作真空度;溫度控制方面采用機(jī)械制冷獲得低溫背景,通過先 進(jìn)的智能PID溫控儀來控制加熱籠的加熱電流,從而準(zhǔn)確控制溫度;低溫的獲得采用了的機(jī)械制冷技術(shù),省去了使用液氮制冷時帶來的耗費(fèi)??刂葡到y(tǒng)方面采用工控機(jī)和PLC聯(lián)合控制,工控機(jī)顯示界面清晰易懂,PLC控制準(zhǔn)確可靠,故障診斷簡單。另外還可以根據(jù)用戶的工藝要求,制作不同的溫度曲線配方,存儲在工控機(jī)中,在試驗(yàn)中供用戶選擇調(diào)用,用戶進(jìn)行試驗(yàn)操作時易于掌握??傊?,該設(shè)備真空度高、溫度易于控制且均勻性好、長期運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定可靠、并可連續(xù)工作30天以上、操作使用簡單方便。該設(shè)備具有一定的專用性和通用性,是空間環(huán)境模擬試驗(yàn)的設(shè)備。

  二、設(shè)備設(shè)計(jì)組成部分

  1.真空模擬容器(真空室及內(nèi)部支架)

  2.真空保障系統(tǒng)(真空泵、閥門、管路及真空測量)

  3.溫度保障系統(tǒng):

  低溫制冷系統(tǒng):(區(qū)域溫度控制制冷機(jī)組+液氮制冷、熱沉、低溫閥門及連接管)

  加熱控溫系統(tǒng):(加熱籠、加熱電源)、加熱籠、真空密封加熱電極、變壓器、調(diào)壓模塊、溫度控制箱

  4.控制監(jiān)測系統(tǒng)(機(jī)柜、工控機(jī)、PLC、)。

  5.輔助配套系統(tǒng)(氣泵、冷卻循環(huán)水機(jī)、污染監(jiān)測)

  三、設(shè)備系統(tǒng)主要技術(shù)指標(biāo)(摘錄)

  真空度參數(shù)

  1.主熱沉內(nèi)尺寸:φ2m*4m(長)

  2.設(shè)備使用環(huán)境:溫度0℃~40℃,濕度≤60%;

  3.設(shè)備總功耗預(yù)計(jì)120kw/380V

  設(shè)備照明系統(tǒng);照明強(qiáng)度不小于200LX,防護(hù)等級為IP67

  4.控溫平臺:導(dǎo)熱油流程;

  5.熱沉內(nèi)表面溫度范圍:≥-150~+160℃

  6.工作真空度: ≤1.3×10-3 Pa;(常溫、帶載);

  7.空載極限真空度:≤2×10-5 Pa;(低溫,空載);

  8.高溫空載真空度:≤ 5×10-4Pa(100℃,3~4h)

  9.真空度時間<4h

  10.熱真空罐罐體氦質(zhì)譜檢漏總漏率≤1e-9Pa*m³/s;

  11.熱沉為室溫時,在高真空泵開始抽氣后4小時內(nèi),真空罐內(nèi)壓力能達(dá)到1.33×10-4Pa

  12.1000Pa~1.0Pa區(qū)間可定值保持壓力,從常壓抽至1Pa不大于20min

  試驗(yàn)件溫度

  13. 熱沉可控溫度范圍:-150℃~160℃; 液氮制冷+紅外熱籠,也可用機(jī)械制冷

  建議用機(jī)械制冷,能節(jié)省很多的使用成本。

  14.溫度顯示精度:0.1℃;

  15.溫度波動度:≤±1℃;

  16.溫度均勻度:高溫恒溫2h,溫度均勻度±3℃

  低溫恒溫2h,溫度均勻度±5℃;

  熱沉指標(biāo)(底板指標(biāo))

  1.氣氮流程(外熱流):

  熱沉升降溫速率≥1℃/min

  熱沉內(nèi)表面溫度范圍:-150~+160℃

  熱沉溫度均勻度:±2℃

  溫控底板控溫精度:±0.5℃

  2.液氮流程:

  熱沉溫變速率:≥1℃/min(-150℃~+160℃)。

  溫控底板

  1. 導(dǎo)熱油控溫流程:

  有效控溫區(qū):1.0×1.2m2 x 2

  溫控底板溫度范圍:-75℃~+130℃;

  溫控底板溫度均勻度:±2℃;

  溫控底板控溫精度:±0.5℃

  升降溫速率:熱沉及底板平均變溫速率(-45℃~+85℃范圍內(nèi)升降溫)≥3℃/min;

  設(shè)備升降溫運(yùn)行到達(dá)端溫后溫度過沖小于2℃,且溫度穩(wěn)定時間<30min;

  底板方便拆卸,承重不小于200kg。

  2.液氮流程:

  熱沉溫變速率:≥3℃/min((-75℃~+130℃)。

  配置罐內(nèi)軌道,載重≥1000kg(按照衛(wèi)星凈重500kg計(jì)算),罐內(nèi)掛軌一套承重≥700kg;

  四、結(jié)構(gòu)部分

  1.試驗(yàn)艙容器設(shè)計(jì)為真空容器且結(jié)構(gòu)為臥式圓通形筒體,下面由支撐架支撐,支撐架直接落地

  2.真空艙采用臥式不銹鋼真空容器(材料為 SUS304 不銹鋼,厚度16mm),內(nèi)側(cè)為

  鏡面拋光,外側(cè)白色噴塑;真空艙內(nèi)置低壓照明,亮度不小于 200 流明。真空艙內(nèi)置載物平

  臺。

  配置罐內(nèi)軌道,熱沉內(nèi)設(shè)置兩條平行導(dǎo)軌,導(dǎo)軌頂端高度在熱沉中心線以下60cm左右(研制后期進(jìn)行安全安裝,導(dǎo)軌設(shè)計(jì)由需方確認(rèn)),導(dǎo)軌承重≥3噸。

  配置升降載物車,完成試驗(yàn)件(3噸左右)與導(dǎo)軌之間的安裝對接,

  另設(shè)導(dǎo)軌,安裝分區(qū)控溫平臺。控溫平臺可拆除,或不影響3噸試驗(yàn)件進(jìn)出。

  預(yù)留至少100路測溫端子給需方備用,測溫端子選型和線長由需方確認(rèn)

  預(yù)留至少100路測溫端子給需方備用,測溫端子選型和線長由需方確認(rèn)

  觀察窗尺寸:Φ300mm,(或以客戶要求為準(zhǔn))真空容器前部封頭中心位置安裝1個,罐體一側(cè)垂直于罐體軸線方向安裝一個,便于在試驗(yàn)過程中觀察容器內(nèi)情況

  表面噴涂專用航天黑漆,太陽吸收系數(shù)≥0.90、半球發(fā)射率≥0.90的黑漆,且在100K到150℃溫度范圍內(nèi)不脫落。

  冷板上應(yīng)預(yù)留通孔;載物平臺具備抽出功能,可以在54 艙外進(jìn)行試驗(yàn)件的裝配。真空容器為臥式圓柱體;

  真空容器及內(nèi)部結(jié)構(gòu)材料均采用優(yōu)質(zhì)0Gr18Ni9不銹鋼制造,外部結(jié)構(gòu)件采用碳素鋼,容器外面采用噴漆處理;

  真空容器內(nèi)壁拋光(0.8μm),壁上開設(shè)必要的法蘭孔8個(每側(cè)各4個),包氮系統(tǒng)進(jìn)出接口、真空抽氣接口、真空規(guī)接口、溫度測控接口、充氣接口等法蘭。

  五、設(shè)備配置參數(shù)要求(摘錄)

  1.設(shè)備總配置:需配齊所有的外設(shè)(循環(huán)水機(jī)、氣源、多種法蘭等)

  2.抽氣系統(tǒng):

  A 主抽分子泵:采用8000L/S抽速的分子泵,在真空度達(dá)到10pa時啟動分子泵。

  B 前級泵:TRP-36機(jī)械泵,機(jī)械泵2000L/S的抽速,可抽到2000pa。

  C 后級泵:羅茨泵泵180L/S抽速,可抽到10pa,需用1臺。

  根據(jù)多年的真空泵使用經(jīng)驗(yàn),建議采用國產(chǎn)真空泵,因?yàn)閲a(chǎn)真空泵技術(shù)已經(jīng)非常成熟,而且質(zhì)保時間長,進(jìn)口的只要用了就沒有質(zhì)保,我覺沒有必要花冤枉錢,真誠建議!

  最終尊重客戶意見。

  3.真空測量系統(tǒng):選國內(nèi)質(zhì)量好的皮拉尼、電離計(jì)、數(shù)顯真空計(jì)

  4.加熱及制冷系統(tǒng):采用的進(jìn)口制冷水冷壓縮機(jī)組,用PID溫控調(diào)節(jié),采用穩(wěn)定、可靠的控溫方式,即機(jī)械制冷+熱籠控溫。其他制冷系統(tǒng)部件均采用良好的部件。

  5.熱沉結(jié)構(gòu):液氮管采用分組方式結(jié)構(gòu)(用整根紫銅管),下進(jìn)上出,在罐體圓周上分區(qū),大門和底部熱沉分別分上下區(qū),因此整個熱沉分區(qū)進(jìn)行控溫和調(diào)溫,也可根據(jù)情況非對稱加溫和控溫。液氮管在真空室內(nèi)無焊接接頭。在液氮管外側(cè)加一層屏蔽,液氮進(jìn)口管路上設(shè)有檢漏口,方便檢漏;

  6.熱沉上用聚四氟乙烯隔熱墊固定在不銹鋼上并加裝調(diào)心軸承作滾輪,熱沉裝卸時,只要將熱沉連接高低溫接頭卸開便可,對準(zhǔn)容器里的軌道,移入或移出容器,方法簡單,便于安裝檢修。大門熱沉做成平面形直管焊接在圓板上,與液氮外流程用金屬軟管(外套不銹鋼絲編織)連接;

  6.真空室: 采用不銹鋼1Cr18Ni9Ti,或其他性能更好的不銹鋼,應(yīng)20mm為宜。

  7.觀察窗:大門300mm

  8.承內(nèi)壓:≥2MPa;

  9.總漏率:≤5×10-9Pa*m3/s

  10.內(nèi)部照明:不小于200LX

  11.真空法蘭:在容器兩側(cè)開多個240mm的法蘭。(以客戶具體要求為準(zhǔn))

  12.測量位置:皮拉尼、電離規(guī)安裝在容器前部。

  13.容器內(nèi)支架板:支架板的尺寸應(yīng)盡可能大,支架板的受力點(diǎn)應(yīng)在罐體上。

  14.總控制系統(tǒng):此套設(shè)備為全自動控制系統(tǒng)。

  15.設(shè)備特點(diǎn):此設(shè)備為臥式高真空系統(tǒng)。

  16.在分子泵抽氣口位置安裝機(jī)械冷阱(分子泵只在特殊條件下使用)。

  17.運(yùn)轉(zhuǎn)車的作用是將產(chǎn)品轉(zhuǎn)運(yùn)至罐內(nèi)。運(yùn)轉(zhuǎn)車在罐外停放,載物運(yùn)轉(zhuǎn)車放置在運(yùn)轉(zhuǎn)車上,然后運(yùn)轉(zhuǎn)車與罐內(nèi)軌道實(shí)現(xiàn)自動對接,載物滑車即可從運(yùn)轉(zhuǎn)車上推至真空罐工裝車導(dǎo)軌上。

  運(yùn)轉(zhuǎn)車材料用不銹鋼材,做成高低、方向可調(diào),承重不小于3噸。運(yùn)轉(zhuǎn)車為桁架結(jié)構(gòu),用60mm×120mm的矩形不銹鋼方管作框架材料焊接而成,下面有四個限位聚四氟乙烯滾輪,配合支承可實(shí)現(xiàn)不同位置的定位和調(diào)平。

  18. 載物小車的作用是試件在真空罐外完成準(zhǔn)備工作后運(yùn)送到罐內(nèi)。載物滑車在罐外是停放在與罐內(nèi)軌道一樣高的可升降的運(yùn)轉(zhuǎn)車上,試驗(yàn)時移入罐內(nèi)固定支架,載物小車用不銹鋼材做成高低、前后可調(diào),車上的支架按試件要求設(shè)計(jì)。小車采用桁架結(jié)構(gòu),下面有四個限位聚四氟乙烯滾輪,實(shí)現(xiàn)不同位置的定位和調(diào)平,小車支架表面均用雙面鍍鋁聚酯膜包覆以減少漏熱。

  19. 真空容器內(nèi)上吊掛點(diǎn)設(shè)計(jì):真空容器熱沉內(nèi)頂部由10個吊點(diǎn),單點(diǎn)承重不小于3噸,用于試驗(yàn)件的吊掛和移動,或試驗(yàn)時測量裝置、測量線的捆綁固定。10根M24的吊桿與熱沉骨架頂部連接。

  20. 人行踏板設(shè)計(jì):熱沉內(nèi)的兩側(cè)設(shè)有人行踏板,導(dǎo)軌兩側(cè)設(shè)有人行踏板,設(shè)計(jì)時考慮熱沉效果,要求便于快速折疊和拆分,寬度≥400mm,承重能力不低于500Kg/m2。

  21.電源總功率不得低于50KW,選擇進(jìn)口或同質(zhì)量國產(chǎn)的直流電源(帶網(wǎng)口),電源需根據(jù)試驗(yàn)環(huán)境可自主控制。

  六、真空部分

  1.為確??蛰d極限真空度:≤2×10-5 Pa;(低溫,空載),高溫空載真空度:≤ 5×10-4Pa(100℃,3~4h)的要求,以做到防止試件受污染。采用德國萊寶干式真空泵和羅茨干泵(德國萊寶、漢鐘)作粗抽系統(tǒng)、磁懸浮分子泵(德國萊寶、住友)作預(yù)抽氣機(jī)組和低溫泵(萊寶)主抽氣機(jī)組三個抽氣分系統(tǒng)組成。特點(diǎn)是抽氣快、真空度高、無污染、無振動。低真空的抽速與低真空泵的抽速和被抽容器的容積有關(guān);高真空的抽氣時間與高真空泵的抽速和真空容器內(nèi)所有東西的出氣量有關(guān)。

  2.根據(jù)設(shè)備溫度覆蓋-150~+160°C的要求,選用液氮制冷、紅外加熱籠提供加熱功率形式來實(shí)現(xiàn)設(shè)備的溫度控制。溫度保障系統(tǒng)由熱沉、紅外加熱籠、液氮制冷系統(tǒng)、加熱控溫系統(tǒng)及連接管路、低溫閥門組成。

  低溫流程圖

  3.具備真空度穩(wěn)定控制措施,真空度在全壓力范圍內(nèi)應(yīng)具備在任意點(diǎn)可停留可保持;

  在使用過程中真空度不能過高或過低,方案中詳細(xì)描述真空度穩(wěn)定控制方案。

  4.真空模擬容器:

  它主要用來容納試驗(yàn)件,并且能造就一個符合試驗(yàn)條件的真空環(huán)境和溫度環(huán)境,內(nèi)部設(shè)有放置工件的平臺,可以安裝工件。,真空容器上開有抽氣口,以便連接抽真空的設(shè)備。它還有一些電器方面的接口,以便連接必要的線纜,使真空室內(nèi)的試驗(yàn)件和真空室外部的儀器能夠很好的連接。真空容器上方還裝有測量真空度的規(guī)管,內(nèi)部有測量溫度的PT100傳感器,以便測量本設(shè)備的主要技術(shù)參數(shù)(真空度和溫度)。另外還有觀察窗和照明燈,以便觀察內(nèi)部試驗(yàn)件情況

  5.真空保障系統(tǒng):

  它是把真空容器抽成真空環(huán)境的設(shè)備,它又分成預(yù)抽系統(tǒng)和主抽系統(tǒng)兩個部分,預(yù)抽系統(tǒng)將真空室抽成低真空,而后,主抽系統(tǒng)將真空室抽成高真空。它由真空泵、真空閥門和真空管道等組成。

  6.溫度保障系統(tǒng):

  它主要用來保證試驗(yàn)所需的溫度環(huán)境,包括正溫環(huán)境和負(fù)溫環(huán)境。正溫和負(fù)溫都通過設(shè)置一個冷背景,通過加熱籠加熱控溫來實(shí)現(xiàn),用戶只需設(shè)定目標(biāo)溫度即可實(shí)現(xiàn)控溫,并能按溫度循環(huán)試驗(yàn)要求實(shí)現(xiàn)循環(huán)控溫。

  7.熱真空狀態(tài)控制監(jiān)測系統(tǒng):

  它用來控制真空系統(tǒng)和溫度保障系統(tǒng)的元件的動作,顯示當(dāng)前的控制狀態(tài),并負(fù)責(zé)將真空度、溫度等參數(shù)保存記錄下來,繪制特定曲線,便于直觀了解參數(shù)的變化情況。主要由控制柜和工控機(jī)兩個部分組成。

  控制系統(tǒng)采用****微型可編程控制器,真空系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)分別用了一個PLC,使各控制系統(tǒng)有一定的獨(dú)立性,一旦有問題出現(xiàn)時,可以單獨(dú)進(jìn)行故障診斷和維修。

  本系統(tǒng)還可對斷氣,斷水等主要故障進(jìn)行相應(yīng)的報(bào)警。

  8.輔助配套系統(tǒng):

  主要有冷卻水系統(tǒng)和氣路系統(tǒng),冷卻水系統(tǒng)為真空系統(tǒng)的真空泵和溫度保障系統(tǒng)的制冷機(jī)組提供冷卻,氣路系統(tǒng)為真空閥門提供氣源動力。

  污染監(jiān)測主要監(jiān)測真空室內(nèi)殘余氣體的成分和物體表面的分子沉積量情況。

  9.工作方式

  本系統(tǒng)采用自增壓開式沸騰工作方式,主要由液氮儲槽、低溫閥門、及管路組成。液氮的供給是靠液氮儲罐自身壓力(0.2MPa),進(jìn)入熱沉,依靠液氮在熱沉中沸騰蒸發(fā)進(jìn)行熱交換,使熱沉處于100K以下低溫狀態(tài),熱交換后產(chǎn)生的氣體經(jīng)熱沉后被直接排放至大氣。通過電動液氮流量調(diào)節(jié)閥進(jìn)入熱沉,整個過程采用自動控制包括閥門打開等;采用手動控制系統(tǒng)作為備用系統(tǒng),在停電等應(yīng)急情況下使用,液氮的供給是通過手動閥開關(guān)靠液氮儲罐自身壓力(一般≤0.1MPa)進(jìn)入熱沉。為了避免各支路液氮分配不合理,在熱沉的支路上還設(shè)置了電動低溫截止閥(雙通道冗余設(shè)計(jì)),各個區(qū)的液氮截止閥可以通過熱沉溫度來控制液氮的通斷,能自動、穩(wěn)定的保持熱沉溫度低于100K,而不浪費(fèi)液氮。出液口采用氣液分離器,使系統(tǒng)中的液氮減少氣流沖走而造成液氮浪費(fèi)。

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