HiPace 10 - 800
抽速等級在10-800 L/s 的 緊湊型
球軸承或復合軸承渦輪分子泵
產(chǎn)品優(yōu)勢
1. 抽速從10-800升/秒的全系列產(chǎn)品
2. 穩(wěn)健性工業(yè)設計（Robust Design）和經(jīng)過實踐證明的高可靠性軸承系統(tǒng)
3. 經(jīng)湊型結(jié)構以滿足更小的物理空間安裝需求
4. 高氣流量和高抽速
5. 可任意角度安裝
6. 防護等級IP54符合工業(yè)環(huán)境應用要求
7. 可以用于腐蝕性氣體工況
8. SEMI S2和UL認證
9. 可現(xiàn)場更換軸承
HiPace 1200-2300
抽速等級在1000 - 2000 L/S 的緊湊型
復合軸承渦輪分子泵
產(chǎn)品優(yōu)勢：
1. 四種抽速，抽速為自1000 至 2300 l/s
2. 對于分子量較小氣體以及分子量較大氣體的高抽速
3. 適用各種工藝如刻蝕, 濺鍍, 耐粉塵
4. 高氣流量，即使對于分子量較大的氣體
5. 集成的TC 1200驅(qū)動單元，可直接連接一般電源
6. 耐腐蝕
7. 帶節(jié)氣閥門的集成密封氣體系統(tǒng)
8. 標準接口界面：RS-485 以及遠程控制；Profibus或者DeviceNet 可供選擇
9. 符合 IP54 防護標準，適用于工業(yè)應用環(huán)境
10. 符合 Semi S2 規(guī)范
11. 符合 UL, CSA 以及 TüV 認證
HiPace 300 - 800M,ATH 500 M
抽速等級在300 - 800 L/S 的緊湊型
磁懸浮渦輪分子泵
產(chǎn)品優(yōu)勢：
1. 安裝簡便
2. 任意角度安裝
3. 集成控制器
4. 無潤滑油的磁軸承技術
5. 對所有過程氣體都能實現(xiàn)高氣流量
6. 地震動及低磁場干擾
7. 動平衡自動補償
8. 轉(zhuǎn)速范圍大
9. 出色的穩(wěn)定性和可靠性
ATM 1600 - 3200 M, ATP 2300 M
抽速等級在1400 - 2800 L/S 的緊湊型
磁懸浮渦輪分子泵
產(chǎn)品優(yōu)勢：
1. 無潤滑油的磁軸承技術
2. 對所有過程氣體都能實現(xiàn)高氣流量
3. 出色的穩(wěn)定性和可靠性
4. 更好的前級泵兼容性
5. 氣體進入穩(wěn)定性高
6. 免維護低成本保養(yǎng)費
7. 轉(zhuǎn)速可選范圍大，適合定制化工藝需求
8. 極低的噪音和震動
9. 任意角度安裝
10. 磁軸承技術現(xiàn)實轉(zhuǎn)子實時監(jiān)控
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