TL1400-C單溫區(qū)CVD系統(tǒng)詳細(xì)技術(shù)參數(shù)
| TL1400管式爐
| 型號 | TL1400-C-I | TL1400-C-II | TL1400-C-III |
| 功率 | 4KW | 4KW | 6KW | |
| 爐管尺寸OD（mm） | 高純剛玉管:60/80/100*1000mm(管徑可選） 兩邊各放置兩個(gè)爐塞，爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射，必須在加熱前放置在爐膛的正確位置
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| 外形尺寸（LXDXH） | 6100X490X800 | 610X490X800 | 610X550X850 | |
| 電源電壓 | 220V / 380V | |||
| 相數(shù) | 單相 | |||
| 加熱元件 | 硅碳棒 | |||
| 真空爐管內(nèi)真空度 | 8X10 -4 | |||
| 控制方式 | 采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配） 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過1420度或熱電偶燒斷時(shí)，主電路上的交流繼電器會自動(dòng)斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時(shí)標(biāo)配） 4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時(shí)爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進(jìn)口儀表，需要另外付費(fèi)，選購）
FP93控溫儀表 歐陸儀表 觸摸屏儀表 （日本島電） | |||
| 控溫模式 | 智能PID | |||
| 斷偶保護(hù)和顯示 | 有 | |||
| 過溫保護(hù) | 有 | |||
| 過流保護(hù) | 有 | |||
| 爐膛材料 | 1800型氧化鋁多晶體纖維（日本進(jìn)口） | |||
| 控制精度 | +/- 1℃ | |||
| 觸發(fā)器 | 移相觸發(fā) | |||
| 電器 | 浙江正泰 | |||
| 可控硅 | 106 / 16E德國西門康 | |||
| 溫度 | 1400℃ | |||
| 額定溫度 | 1350℃ | |||
| 升溫速率 | ≤20℃/分鐘（可根據(jù)要求修改） | |||
| 推薦升溫速率 | ≤10℃/分 | |||
| 熱電偶型號 | S型 | |||
| 加熱段長度 | 300mm | |||
| 溫度校準(zhǔn)（選配） | 定期對管式爐進(jìn)行溫度校準(zhǔn)，可保持爐溫的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在本公司選購一套簡單的校準(zhǔn)工具，輔助您完成這項(xiàng)工作，完整的校準(zhǔn)套件包括標(biāo)準(zhǔn)熱電偶，溫度校準(zhǔn)儀，補(bǔ)償導(dǎo)線 | |||
| 真空法蘭
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| 電器認(rèn)證 | | |||
| 四周表面溫度 | ≤45℃ | |||
| 德國Pfeiffer真空泵（方案二）
| 電壓 | 220V | ||
| 功率 | 110W | |||
| 抽氣接口 | KF40 | |||
| 重量 | 150KG | |||
| 前機(jī)泵抽速 | 0.9m 3/ h | |||
| 抽氣速率（N2） | 33L/S | |||
質(zhì)保期
一年保修，終身技術(shù)支持
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，爐管，樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
注意事項(xiàng)
1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3.當(dāng)使用的爐管為剛玉管時(shí)，爐體溫度高于1500℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)
4.進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊
5.對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
6.不要在氧化鋁管中使用石墨坩堝
TL1400產(chǎn)品描述
管式爐以硅碳棒為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，能進(jìn)行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時(shí)真空度能夠達(dá)到10 -3 Pa,該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。
1、加熱元件
（1）、硅碳棒的熱端粗度d為14mm、一般廠家采用的12MM、加熱端粗、不容易彎曲、棒子的表面負(fù)荷低，使用壽命長。
（2）、m冷端長度為210mm， 一般廠家采用180mm, 冷端長爐頂溫度低。
（3）、硅碳棒表面氧化非晶膜致密，能夠比較好的保護(hù)碳棒。
2、安裝有空氣開關(guān)和漏電保護(hù)器：
當(dāng)電路過流或漏電時(shí)，空開會自動(dòng)斷開。
3、可以與電腦連接（選購）
該爐配可有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時(shí)可以調(diào)出
4、爐膛
進(jìn)口爐膛 VS 國產(chǎn)爐膛
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用成型。
3、爐膛材料熱容低、熱傳導(dǎo)系數(shù)低，從而散熱少、保溫好、反射率高。溫場均衡。
4、爐膛氧化鋁絲細(xì)而長、耐溫高、抗熱漲冷縮能力強(qiáng)。
5、爐膛表面光潔、不易掉粉。
5、可選UL認(rèn)證電氣板 （全部通過UL認(rèn)證的進(jìn)口電器）
6、多款可供選擇的各種法蘭 （直徑從25到250mm）
鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm（選購） 可以接電阻真空計(jì)和KF25波紋管的法蘭（選購） 水冷法蘭（選購）
7、認(rèn)證
管式爐標(biāo)準(zhǔn)配件
| 描敘 | 數(shù)量 | 圖片 |
| TL1400管式爐 | 1套 |
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| 剛玉管 | 1根 |
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| 不銹鋼法蘭 | 1套 |
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| 不銹鋼爐鉤 | 1個(gè) |
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| 氧化鋁爐塞 | 2對 |
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| 高溫手套 | 1雙 |
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| 氧化鋁坩堝 | 1個(gè) |
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| ?型熱電偶 | 1個(gè) |  |
| 485轉(zhuǎn)換接口和軟件 （選配） | 1套 |
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| 說明書 | 1本 | |
| 法蘭支撐架 | 1份 | |
| 高真空抽氣系統(tǒng) | 1臺 |  |
| 卡套 | 4個(gè) |  |
| 波紋管 | 1支 |  |
| 真空擋板閥 | 1個(gè) |  |
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